[发明专利]抗蚀剂剥离液组合物

权利要求书

1.一种抗蚀剂剥离液组合物，其特征在于，包含以下化学式1所表示的倍半硅氧烷、胺化合物、季铵氢氧化物、具有碳原子数1～4的烷基的亚烷基二醇单烷基醚以及具有碳原子数1～4的烷基的亚烷基二醇二烷基醚，

所述胺化合物包含选自由以下化学式2或3所表示的聚醚胺(a)；含有被碳原子数1～6的烷氧基或碳原子数2～6的环状醚基取代的碳原子数1～6的烷基的胺化合物(b)；以及羟基胺系化合物(c)组成的组中的一种以上，

所述季铵氢氧化物包含选自由四甲基氢氧化铵TMAH、四乙基氢氧化铵TEAH、四丙基氢氧化铵TPAH和四丁基氢氧化铵TBAH组成的组中的一种以上，

化学式1

(R₁SiO_1.5)n

所述化学式1中，

R₁各自独立地为氢原子、碳原子数1～10的烷基、碳原子数1～10的亚烷基、烯丙基、亚烯丙基；或者具有功能性基团的碳原子数1～10的烷基、碳原子数1～10的亚烷基、碳原子数6～30的芳基或碳原子数6～30的亚芳基的衍生物，

n为8～100的整数，

化学式2

所述化学式2中，

R₂为碳原子数1～6的亚烷基或-R₃-O-R₄-，

所述R₃和R₄各自独立地为碳原子数1～6的亚烷基，

n₁和n₂各自独立地为1～6的整数，

化学式3

所述化学式3中，

X为

R₅为碳原子数1～6的烷基，

R₆各自独立地为氢原子或氨基，

m为1～3的整数，

n₃为1～70的整数，

*的意思是结合键。

2.根据权利要求1所述的抗蚀剂剥离液组合物，其特征在于，所述抗蚀剂剥离液组合物进一步包含选自由极性溶剂、无机碱或其盐和添加剂组成的组中的一种以上。

3.根据权利要求1所述的抗蚀剂剥离液组合物，其特征在于，所述胺化合物(b)包含以下化学式4所表示的化合物，

化学式4

所述化学式4中，

Y为

R₉为碳原子数1～6的烷氧基，

所述烷氧基可以被碳原子数2～6的环状醚基或碳原子数1～3的烷氧基取代，R₇、R₈和R₁₀各自独立地为氢原子、碳原子数1～6的烷基，

p为1～4的整数，

*为结合键。

4.根据权利要求1所述的抗蚀剂剥离液组合物，其特征在于，相对于组合物整体100重量％，所述倍半硅氧烷的含量为0.1～2.5重量％。

5.根据权利要求1所述的抗蚀剂剥离液组合物，其特征在于，相对于组合物整体100重量％，所述胺化合物的含量为0.01～30重量％。

6.根据权利要求1所述的抗蚀剂剥离液组合物，其特征在于，相对于组合物整体100重量％，所述聚醚胺(a)的含量为0.01～10重量％。

7.根据权利要求1所述的抗蚀剂剥离液组合物，其特征在于，相对于组合物整体100重量％，所述胺化合物(b)的含量为1～30重量％。

8.根据权利要求1所述的抗蚀剂剥离液组合物，其特征在于，相对于组合物整体100重量％，所述羟基胺系化合物(c)的含量为0.05～5重量％。

9.根据权利要求1所述的抗蚀剂剥离液组合物，其特征在于，相对于组合物整体100重量％，所述季铵氢氧化物的含量为1～20重量％。