[发明专利]抗蚀剂剥离液组合物

说明书

本发明提供一种抗蚀剂剥离液组合物，其通过包含化学式1所表示的倍半硅氧烷、胺化合物、季铵氢氧化物、具有碳原子数1～4的烷基的亚烷基二醇单烷基醚及具有碳原子数1～4的烷基的亚烷基二醇二烷基醚，从而抗蚀剂剥离效果优异，由此能够使剥离的抗蚀剂所导致的设备内过滤器的堵塞现象最小化，能够防止下部膜质、尤其SiNx下部膜质的腐蚀即损伤。化学式1即(R₁SiO_1.5)n中，R₁各自独立地为氢原子、碳原子数1～10的烷基、碳原子数1～10的亚烷基、烯丙基、亚烯丙基；或具有功能性基团的碳原子数1～10的烷基、碳原子数1～10的亚烷基、碳原子数6～30的芳基或碳原子数6～30的亚芳基的衍生物，n为8～100的整数。

技术领域

本发明涉及抗蚀剂剥离液组合物。

背景技术

滤色器(color filter)可通过内置于互补金属氧化物半导体(complementarymetal oxide semiconductor，CMOS)或电荷耦合元件(charge coupled device，CCD)之类的图像传感器的彩色摄影装置内来用于实际获得彩色图像，除此之外，也广泛应用于摄影元件、等离子体显示器面板(PDP)、液晶显示装置(LCD)、场发射显示器(FED)和发光显示器(LED)等中，其应用范围正在迅速扩大。特别是，近年来LCD的用途进一步扩大，因此认为在再现LCD的色彩方面滤色器是最重要的构件之一。

滤色器基板由红色(R)、绿色(G)、蓝色(B)图案和起到用于阻断各像素之间的漏光并提高对比度的作用的黑矩阵、以及对液晶盒施加电压的共用电极构成。

滤色器是通过将根据用途选择的黑矩阵材料涂布于玻璃基板上、形成黑色掩模图案后、利用光刻工序形成彩色抗蚀剂图案而制造。

这样的滤色器制造工序中，会不可避免地发生彩色抗蚀剂图案的不良，如果彩色抗蚀剂一旦固化，则几乎不可能仅通过对错误的部分去除来进行修理，并且几乎没有能够将彩色抗蚀剂去除的溶剂，因此不良的滤色器无法进行修理等重新加工，大部分会被直接废弃处理，因而存在生产率降低的问题。

为了解决该问题，开发了用于将固化的彩色抗蚀剂去除的组合物。

抗蚀剂大体可以分为正型抗蚀剂和负型抗蚀剂，与去除相对容易而可被以有机溶剂为基础的剥离剂在40～50℃的温度条件下在1分钟内去除的正型抗蚀剂不同，负型抗蚀剂具有固化度高、热处理后变硬而难以剥离去除的负型抗蚀剂的特性。因此，为了去除负型抗蚀剂，在70℃以上的温度条件下需要5分钟以上的时间，因此要求更强的剥离性能。

与此相关，韩国公开专利第10-2016-0118548号中公开了，由于包含特定化学式所表示的聚醚胺、以及含有被碳原子数1～6的烷氧基或碳原子数2～6的环状醚基取代的碳原子数1～6的烷基的胺化合物，从而剥离力优异的抗蚀剂剥离液组合物。

但是，在上述公开专利所记载的抗蚀剂剥离液组合物的情况下，存在对于金属下部膜、特别是SiNx下部膜质造成损害而诱发不良的问题。

现有技术文献

专利文献

韩国公开专利第10-2016-0118548号(2016.10.12.)

发明内容

所要解决的课题

本发明是用于解决如上所述的问题的发明，其目的在于，提供抗蚀剂剥离力优异，且不会对下部金属膜造成损伤的抗蚀剂剥离液组合物。

解决课题的方法

用于实现上述目的的本发明的抗蚀剂剥离液组合物的特征在于，包含以下化学式1所表示的倍半硅氧烷、胺化合物、季铵氢氧化物、具有碳原子数1～4的烷基的亚烷基二醇单烷基醚、以及具有碳原子数1～4的烷基的亚烷基二醇二烷基醚。

[化学式1]