[发明专利]一种热丝CVD用钼电极自动清理装置及其使用方法

权利要求书

1.一种热丝CVD用钼电极自动清理装置，其特征在于，该装置包括由四爪卡盘一、调速电机、电机卡轨、机座、尾座、四爪卡盘二、磨削线固定座、弹簧固定座、弹簧拉片、弹簧、弹簧压片一、弹簧压片二、金刚石磨削线，具体结构如下：

机座左上方依次设有电机卡轨、调速电机，调速电机机头右侧联接四爪卡盘一，机座右上方依次有尾座卡轨、尾座，尾座左侧联接四爪卡盘二，钼电极两端由四爪卡盘一与四爪卡盘二固定并且三者的轴心在一条直线上；

机座上的一侧设有磨削线固定座，金刚石磨削线的一端通过锁紧螺钉固定在磨削线固定座上；机座上的另一侧设有与磨削线固定座相对应的弹簧固定座，弹簧拉片为条形片状沿弹簧固定座横向均匀排布，每个弹簧拉片通过拉片固定螺钉固定在弹簧固定座上，每个弹簧拉片的一端依次连接有弹簧、弹簧压片一、弹簧压片二、压片锁紧螺栓和金刚石磨削线的另一端。

2.按照权利要求1所述的热丝CVD用钼电极自动清理装置，其特征在于，调速电机通过电机固定螺栓连接电机卡轨。

3.按照权利要求1所述的热丝CVD用钼电极自动清理装置，其特征在于，尾座通过尾座固定螺栓连接尾座卡轨。

4.按照权利要求1所述的热丝CVD用钼电极自动清理装置，其特征在于，磨削线固定座通过固定螺钉一与机座固定。

5.按照权利要求1所述的热丝CVD用钼电极自动清理装置，其特征在于，弹簧固定座通过固定螺钉二与机座固定。

6.按照权利要求1所述的热丝CVD用钼电极自动清理装置，其特征在于，相对设置的弹簧压片二、弹簧压片一之间形成缝隙，弹簧压片二、弹簧压片一的一端通过压片锁紧螺栓连接锁紧。

7.一种权利要求1至6之一所述的热丝CVD用钼电极自动清理装置的使用方法，其特征在于，包括如下步骤：

(1)将四爪卡盘一与四爪卡盘二调松到最大卡距，将钼电极的两端放置到上述两只四爪卡盘的爪内，锁紧四爪卡盘一与四爪卡盘二将钼电极固定，调整并检查电机卡轨和尾座卡轨使钼电极、四爪卡盘一和四爪卡盘二的轴心在一条直线上；

(2)截取一条金刚石磨削线，调整锁紧螺钉将金刚石磨削线的一端固定在磨削线固定座上，牵动金刚石磨削线放置在钼电极的凹槽内，锁紧拉片固定螺钉将弹簧拉片固定在弹簧固定座上，将弹簧一端挂钩挂在弹簧拉片端部，弹簧另一端挂钩挂在弹簧压片一、弹簧压片二、压片锁紧螺栓组成的连接件一端，将金刚石磨削线的另一端穿到弹簧压片二、弹簧压片一之间的缝隙后拉紧金刚石磨削线至把金刚石磨削线拉紧，锁紧压片锁紧螺栓；

(3)依次重复上述操作将钼电极的所有凹槽上都拉满金刚石磨削线；

(4)启动调速电机带动四爪卡盘一、钼电极和四爪卡盘二速旋转，金刚石磨削线被磨削线固定座和弹簧固定座通过弹簧拉紧并紧贴在钼电极的沟槽处表面，金刚石磨削线同时将对应的沟槽处残余的杂质磨削清理干净。