[发明专利]一种热丝CVD用钼电极自动清理装置及其使用方法

说明书

本发明属于金刚石膜生长领域，具体为一种热丝CVD用钼电极自动清理装置及其使用方法。该装置机座上的一侧设有磨削线固定座，金刚石磨削线的一端通过锁紧螺钉固定在磨削线固定座上；机座上的另一侧设有与磨削线固定座相对应的弹簧固定座，弹簧拉片为条形片状沿弹簧固定座横向均匀排布，每个弹簧拉片通过拉片固定螺钉固定在弹簧固定座上，每个弹簧拉片的一端依次连接有弹簧、弹簧压片一、弹簧压片二、压片锁紧螺栓和金刚石磨削线的另一端。本发明结构简单，通过调速电机带动四爪卡盘夹持钼电极高速旋转，金刚石磨削线被磨削线固定座和弹簧固定座通过弹簧拉紧并紧贴在钼电极的沟槽处，金刚石磨削线对沟槽进行磨削清理，效率高、打磨清理彻底。

技术领域

本发明属于金刚石膜生长领域，具体为一种热丝化学气相沉积(CVD)用钼电极自动清理装置及其使用方法。

背景技术

金刚石在力学、电学、热学、光学等方面具有许多优异的性能，使得其在很多方面都有着广泛的应用前景。由于天然金刚石含量稀少，难以广泛应用，使用化学气相沉积(Chemical Vapour Deposition，简称CVD)法制备的金刚石膜的硬度、热导率、弹性模量等物理性能接近或达到了天然金刚石的性能，从而很好地解决了天然金刚石含量稀少的问题。热丝CVD法是目前应用最广泛、最成熟制备的金刚石膜的方法。

然而，在金刚石制备过程中用于拉伸支撑及导电的钼电极表面沟槽处也会生长上一些金刚石颗粒，这些颗粒硬度高、不导电需要及时打磨掉，如果打磨不充分、不干净，钼电极表面的金刚石颗粒会影响加热丝与钼电极的接触导电性，金刚石在生长过程中会出现打火、断丝现象，钼电极尤其是与加热丝接处的凹槽需要打磨抛光后才能使用，目前采用人工打磨抛光的效率过低，清理不彻底、每个沟槽的打磨效果不一致，因此有必要提出一种热丝CVD用钼电极自动清理装置解决上述问题。

发明内容

为了克服上述不足之处，本发明的目的在于提供一种热丝CVD用钼电极自动清理装置及其使用方法，解决现有技术中采用人工打磨抛光的效率过低，清理不彻底、每个沟槽的打磨效果不一致等问题。

本发明的技术方案是：

一种热丝CVD用钼电极自动清理装置，该装置包括由四爪卡盘一、调速电机、电机卡轨、机座、尾座、四爪卡盘二、磨削线固定座、弹簧固定座、弹簧拉片、弹簧、弹簧压片一、弹簧压片二、金刚石磨削线，具体结构如下：

机座左上方依次设有电机卡轨、调速电机，调速电机机头右侧联接四爪卡盘一，机座右上方依次有尾座卡轨、尾座，尾座左侧联接四爪卡盘二，钼电极两端由四爪卡盘一与四爪卡盘二固定并且三者的轴心在一条直线上；

机座上的一侧设有磨削线固定座，金刚石磨削线的一端通过锁紧螺钉固定在磨削线固定座上；机座上的另一侧设有与磨削线固定座相对应的弹簧固定座，弹簧拉片为条形片状沿弹簧固定座横向均匀排布，每个弹簧拉片通过拉片固定螺钉固定在弹簧固定座上，每个弹簧拉片的一端依次连接有弹簧、弹簧压片一、弹簧压片二、压片锁紧螺栓和金刚石磨削线的另一端。

所述的热丝CVD用钼电极自动清理装置，调速电机通过电机固定螺栓连接电机卡轨。

所述的热丝CVD用钼电极自动清理装置，尾座通过尾座固定螺栓连接尾座卡轨。

所述的热丝CVD用钼电极自动清理装置，磨削线固定座通过固定螺钉一与机座固定。

所述的热丝CVD用钼电极自动清理装置，弹簧固定座通过固定螺钉二与机座固定。

所述的热丝CVD用钼电极自动清理装置，相对设置的弹簧压片二、弹簧压片一之间形成缝隙，弹簧压片二、弹簧压片一的一端通过压片锁紧螺栓连接锁紧。

所述的热丝CVD用钼电极自动清理装置的使用方法，包括如下步骤：