[发明专利]敏感器件的封装结构及封装方法在审
申请号: | 201911188062.9 | 申请日: | 2019-11-28 |
公开(公告)号: | CN112864132A | 公开(公告)日: | 2021-05-28 |
发明(设计)人: | 邬建勇;林耀剑;李宗怿;曾玉洁;项昌华 | 申请(专利权)人: | 江苏长电科技股份有限公司 |
主分类号: | H01L23/552 | 分类号: | H01L23/552;H01L23/31;H01L25/16;H01L21/50;H01L21/56 |
代理公司: | 苏州威世朋知识产权代理事务所(普通合伙) 32235 | 代理人: | 沈晓敏 |
地址: | 214430 江苏省*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 敏感 器件 封装 结构 方法 | ||
1.一种敏感器件的封装结构,包括基板,所述基板上设有敏感器件、器件接地环以及屏蔽罩,所述屏蔽罩与所述器件接地环固定连接以围设形成一收容腔,所述敏感器件位于所述收容腔内,其特征在于,
所述屏蔽罩的顶面或侧面设有至少一个加强结构。
2.根据权利要求1所述的敏感器件的封装结构,其特征在于,所述屏蔽罩上还开设有逃气结构,所述逃气结构贯穿所述屏蔽罩的内表面与外表面。
3.根据权利要求2所述的敏感器件的封装结构,其特征在于,所述逃气结构开设于所述屏蔽罩的底部。
4.根据权利要求1所述的敏感器件的封装结构,其特征在于,所述加强结构为凸设于所述屏蔽罩顶面或侧面的加强筋,每条加强筋连接所述屏蔽罩顶面或侧面的两侧边。
5.根据权利要求4所述的敏感器件的封装结构,其特征在于,每条加强筋连接所述屏蔽罩顶面或侧面的两个相对侧边。
6.根据权利要求2所述的敏感器件的封装结构,其特征在于,所述封装结构还包括第一密封结构,所述第一密封结构将所述逃气结构密封。
7.根据权利要求1所述的敏感器件的封装结构,其特征在于,所述屏蔽罩的底部外周还设置有第二密封结构,所述第二密封结构将所述屏蔽罩与所述基板密封连接。
8.根据权利要求1所述的敏感器件的封装结构,其特征在于,所述封装结构还包括塑封结构,所述塑封结构包封所述屏蔽罩。
9.一种敏感器件的封装方法,其特征在于,包括步骤:
在基板上设置器件接地环;
将敏感器件设于所述基板上,使得所述器件接地环包围所述敏感器件;
在屏蔽罩的顶面或侧面设置至少一个加强结构;
将所述屏蔽罩与所述器件接地环固定连接。
10.根据权利要求9所述的敏感器件的封装方法,其特征在于,在步骤“将所述屏蔽罩与所述器件接地环固定连接”之前,所述方法还包括:
在所述屏蔽罩的底部开设逃气结构,使得所述逃气结构贯穿所述屏蔽罩的内表面与外表面。
11.根据权利要求9所述的敏感器件的封装方法,其特征在于,步骤“在屏蔽罩的顶面或侧面设置至少一个加强结构”具体包括:
在所述屏蔽罩的顶面或侧面设置凸伸的加强筋,使得每条加强筋连接所述屏蔽罩顶面或侧面的两个相对侧边。
12.根据权利要求10所述的敏感器件的封装方法,其特征在于,在步骤“在所述屏蔽罩的底部开设逃气结构,使得所述逃气结构贯穿所述屏蔽罩的内表面与外表面”之后,所述方法还包括:
通过密封胶,对所述逃气结构进行点胶,以密封所述逃气结构并形成第一密封结构。
13.根据权利要求9所述的敏感器件的封装方法,其特征在于,在步骤“将所述屏蔽罩与所述器件接地环固定连接”之后,所述方法还包括:
通过密封胶,对所述屏蔽罩的底部外周进行点胶,以将所述屏蔽罩与所述基板密封连接并形成第二密封结构。
14.根据权利要求9所述的敏感器件的封装方法,其特征在于,在步骤“将所述屏蔽罩与所述器件接地环固定连接”之后,所述方法还包括:
在所述基板上填充塑封料形成塑封结构,使得所述塑封结构包封所述屏蔽罩。
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