[发明专利]靶材机械抓手

说明书

一种靶材机械抓手，包括套筒、穿过套筒且与套筒螺纹连接的螺杆、与套筒的一端连接的连接帽、滑动位于连接帽中且与螺杆的一端连接的连接板、等间隔地设置于连接帽的周向侧壁上的至少三个延伸块、至少三个连杆及与连杆的末端连接的夹爪；连接板远离操作部的侧面上突出设置有第一连接凸块，延伸块远离操作部的侧面上突出设置有第二连接凸块，连杆的第一端与第一连接凸块转动连接，中部与第二连接凸块转动连接，第二端与夹爪垂直连接。如此易于抓取靶材、便于靶材的安装、拆卸及转移。

技术领域

本发明涉及纳米镀膜技术领域，特别是一种靶材机械抓手。

背景技术

溅射法制作纳米材料的方式有：磁控溅射、偏压溅射及反应溅射等。其中磁控溅射的原理为：电子在电场的作用下加速飞向基片的过程中与氩原子发生碰撞，电离出大量的氩离子和电子，电子飞向基片。氩离子在电场的作用下加速轰击靶材，溅射出大量的靶材原子，呈中性的靶原子沉积在基片上成膜。二次电子在加速飞向基片的过程中受到磁场洛仑磁力的影响，被束缚在靠近靶面的等离子体区域内，该区域内等离子体密度很高，二次电子在磁场的作用下围绕靶面作圆周运动。

圆形的靶材安装于一靶材架上，靶材的周向边缘与靶材架之间具有一个比较小的间隙，靶材的直径在15～30mm。现有技术中，靶材的安装及拆卸是通过人的手部去操作的，一方面靶材直径较大，人的手掌难以抓住靶材；另一方面，由于靶材的周向边缘与靶材架之间的间隙较小，人的手指难以伸入到间隙中；再一方面，人的手部直接接触靶材，容易损伤及污染靶材的侧面。

发明内容

有鉴于此，本发明提供了一种易于抓取靶材、便于靶材的安装、拆卸及转移的靶材机械抓手，以解决上述问题。

一种靶材机械抓手，包括套筒、穿过套筒且与套筒螺纹连接的螺杆、与套筒的一端连接的连接帽、滑动位于连接帽中且与螺杆的一端连接的连接板、等间隔地设置于连接帽的周向侧壁上的至少三个延伸块、至少三个连杆及与连杆的末端连接的夹爪；连接板远离操作部的侧面上突出设置有第一连接凸块，延伸块远离操作部的侧面上突出设置有第二连接凸块，连杆的第一端与第一连接凸块转动连接，中部与第二连接凸块转动连接，第二端与夹爪垂直连接。

进一步地，所述套筒的中部贯穿设置有第一通孔，套筒的第一通孔的内侧壁上设置有内螺纹，螺杆的外侧壁上设置有外螺纹，螺杆穿过套筒的第一通孔，且螺杆的外螺纹与套筒的内螺纹螺纹连接。

进一步地，所述螺杆的第一端连接有操作部。

进一步地，所述连接板的中部开设有第二通孔，螺杆的第二端穿过连接板的第二通孔并与一螺母螺纹连接。

进一步地，所述螺杆的第二端的周向外侧壁凹陷设置有第一台阶槽，第一台阶槽与连接板抵接。

进一步地，所述连杆的第一端开设有第一轴孔，第一连接凸块上开设有第二轴孔，一第一转轴穿过第一轴孔及第二轴孔。

进一步地，所述连杆的中部开设有第三轴孔，第二连接凸块上开设有第四轴孔，一第二转轴穿过第三轴孔及第四轴孔。

进一步地，所述夹爪的末端且朝向连杆的第一端的一侧凹陷设置有第二台阶槽。

与现有技术相比，本发明的靶材机械抓手包括套筒、穿过套筒且与套筒螺纹连接的螺杆、与套筒的一端连接的连接帽、滑动位于连接帽中且与螺杆的一端连接的连接板、等间隔地设置于连接帽的周向侧壁上的至少三个延伸块、至少三个连杆及与连杆的末端连接的夹爪；连接板远离操作部的侧面上突出设置有第一连接凸块，延伸块远离操作部的侧面上突出设置有第二连接凸块，连杆的第一端与第一连接凸块转动连接，中部与第二连接凸块转动连接，第二端与夹爪垂直连接。如此易于抓取靶材、便于靶材的安装、拆卸及转移。

附图说明

以下结合附图描述本发明的实施例，其中：

图1为本发明提供的靶材机械抓手的立体示意图。