[发明专利]一种用于冷镜法极低露点快速测量的气路系统在审

专利信息
申请号: 201911190528.9 申请日: 2019-11-28
公开(公告)号: CN110672662A 公开(公告)日: 2020-01-10
发明(设计)人: 宋巍巍;顾正华;盖文;刘向波;韩杰;梁文清;张文清;顾光武;曾星 申请(专利权)人: 中国空气动力研究与发展中心设备设计及测试技术研究所;江苏鸿源动力科技有限公司
主分类号: G01N25/68 分类号: G01N25/68
代理公司: 51288 绵阳山之南专利代理事务所(普通合伙) 代理人: 沈强
地址: 621000 四*** 国省代码: 四川;51
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摘要:
搜索关键词: 测量腔 不锈钢 镜面 出气管道 质量流量控制器 进气管道 出气口 制冷机 连通 进气口 进气口连接 串联安装 缓慢释放 快速测量 露点测量 内壁材料 气路管道 气路系统 影响测量 制冷管路 低露点 电伴热 内表面 存水 冷镜 水份 吸附
【权利要求书】:

1.一种用于冷镜法极低露点快速测量的气路系统,其特征是:包括有进气口、不锈钢进气管道、测量腔、镜面、制冷机、质量流量控制器MFC、不锈钢出气管道和出气口;所述镜面设置在测量腔内;所述镜面通过制冷管路与设置在测量腔外的制冷机连接;所述不锈钢进气管道一端与进气口连接,另一端与测量腔连通;所述不锈钢出气管道一端与出气口连接,另一端与测量腔连通;所述质量流量控制器MFC串联安装在出气管道上。

2.根据权利要求1所述的一种用于冷镜法极低露点快速测量的气路系统,其特征是:所述不锈钢进气管道靠近测量腔的一侧的末端外部安装有高效散热器。

3.根据权利要求1所述的一种用于冷镜法极低露点快速测量的气路系统,其特征是:所述不锈钢进气管道的外部设置有电伴热带,电伴热带上连接有温控仪。

4.根据权利要求1所述的一种用于冷镜法极低露点快速测量的气路系统,其特征是:所述不锈钢进气管道上设有旁通的支路,支路与安全泄压阀连通。

5.根据权利要求1所述的一种用于冷镜法极低露点快速测量的气路系统,其特征是:所述测量腔底部中心设置有圆孔;所述镜面能够通过圆孔伸入测量腔内部;所述圆孔上设置有能够与制冷管路组成密封结构的密封圈。

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