[发明专利]声波装置、滤波器和多路复用器有效
申请号: | 201911190557.5 | 申请日: | 2019-11-28 |
公开(公告)号: | CN111245392B | 公开(公告)日: | 2023-09-26 |
发明(设计)人: | 松田隆志;佐藤良夫;石田守 | 申请(专利权)人: | 太阳诱电株式会社 |
主分类号: | H03H9/00 | 分类号: | H03H9/00;H03H9/64;H03H9/72 |
代理公司: | 北京三友知识产权代理有限公司 11127 | 代理人: | 赵彤;刘久亮 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 声波 装置 滤波器 多路复用 | ||
1.一种声波装置,该声波装置包括:
压电基板;
一对电极,该一对电极将所述压电基板夹在中间并激发所述压电基板中的厚度剪切振动;
边缘区域,该边缘区域是围绕谐振区域的中央区域的区域并且位于所述谐振区域的边缘部分,所述谐振区域是所述一对电极跨过所述压电基板的至少一部分彼此面对的区域;
附加膜,该附加膜设置在所述谐振区域的所述边缘区域中;
第一区域,该第一区域是所述边缘区域的一部分,并且在第一方向上位于所述中央区域的两侧,该第一方向与作为所述压电基板中的主模式的厚度剪切振动的位移方向基本平行,所述第一区域内的所述压电基板中的声波的声速小于所述中央区域内的所述压电基板中的声波的声速;以及
第二区域,该第二区域是所述边缘区域的一部分,并且在与所述第一方向基本垂直的第二方向上位于所述中央区域的两侧,所述第二区域在所述第二方向上的宽度与所述第一区域在所述第一方向上的宽度不同,所述压电基板在所述第二区域中的声波的声速小于所述压电基板在所述中央区域中的声波的声速。
2.根据权利要求1所述的声波装置,其中,
所述第二区域在所述第二方向上的宽度小于所述第一区域在所述第一方向上的宽度。
3.根据权利要求1或2所述的声波装置,其中,
所述压电基板在所述第一区域中的声波的声速基本上等于所述压电基板在所述第二区域中的声波的声速。
4.一种声波装置,该声波装置包括:
压电基板;
一对电极,该一对电极将所述压电基板夹在中间并激发所述压电基板中的厚度剪切振动;
边缘区域,该边缘区域是围绕谐振区域的中央区域的区域并且位于所述谐振区域的边缘部分,所述谐振区域是所述一对电极跨过所述压电基板的至少一部分彼此面对的区域;
附加膜,该附加膜设置在所述谐振区域的所述边缘区域中;
第一区域,该第一区域是所述边缘区域的一部分,并且在第一方向上位于所述中央区域的两侧,该第一方向与作为所述压电基板中的主模式的厚度剪切振动的位移方向基本平行,所述压电基板在所述第一区域中的声波的声速小于所述压电基板在所述中央区域中的声波的声速;以及
第二区域,该第二区域是所述边缘区域的一部分,并且在与所述第一方向基本垂直的第二方向上位于所述中央区域的两侧,所述压电基板在所述第二区域中的声波的声速小于所述压电基板在所述中央区域中的声波的声速,并且与所述压电基板在所述第一区域中的声波的声速不同。
5.根据权利要求4所述的声波装置,其中,
所述第一区域在所述第一方向上的宽度基本上等于所述第二区域在所述第二方向上的宽度。
6.根据权利要求1、2和4中的任一项所述的声波装置,该声波装置还包括:
第一附加膜,该第一附加膜设置在所述第一区域中;以及
第二附加膜,该第二附加膜设置在所述第二区域中。
7.根据权利要求6所述的声波装置,其中,
通过使所述第一附加膜的厚度大于所述第二附加膜的厚度或者使所述第一附加膜的密度大于所述第二附加膜的密度,所述压电基板在所述第二区域中的声波的声速大于所述压电基板在所述第一区域中的声波的声速。
8.根据权利要求1、2和4中的任一项所述的声波装置,其中,
所述压电基板是X切割钽酸锂基板。
9.根据权利要求1、2和4中的任一项所述的声波装置,其中,
压电基板是旋转的Y切割铌酸锂基板。
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