[发明专利]一种机台视窗的遮挡装置、方法及半导体设备

说明书

本发明公开一种机台视窗的遮挡装置、方法及半导体设备，所述机台视窗的遮挡装置包括判断模块、分析处理模块以及电机驱动模块，所述判断模块用于确定晶圆传送盒的类型以及确定所述机台视窗的覆盖状态，所述分析处理模块用于接收所述晶圆传送盒的类型以及机台视窗的覆盖状态，以输出控制信号，所述电机驱动模块用于接收所述控制信号，以带动遮挡部件沿着所述机台视窗向上或向下运动。本发明避免了当机台混合运转非铜制程出现故障、错位时，需打开视窗检查内部组件状态等现象的发生。

技术领域

本发明涉及半导体集成电路制造技术领域，特别是涉及一种机台视窗的遮挡装置、方法及半导体设备。

背景技术

芯片制造工厂现有非铜制程(如：铝制程)和铜制程，有些机台会有混合运转非铜晶圆传送盒(FOUP)和铜晶圆传送盒的情况，目前厂内为了避免光照对铜制程的影响，对混合运转机台的视窗进行固定覆膜遮挡处理。

当机台混合运转非铜制程出现故障、错位时，需打开视窗门检查内部组件的状态，从而判断晶圆的位置是否水平，半导体设备机械手的取向位置是否正确等，会产生非必要的内部连锁反应，增加回线时间，造成产能浪费等现象。

发明内容

鉴于以上所述现有技术的缺点，本发明的目的在于提供一种机台视窗的遮挡装置、方法及半导体设备，用于解决现有技术中的当机台混合运转非铜制程出现故障、错位时，需打开视窗门检查内部组件的状态，从而判断晶圆的位置是否水平，半导体设备机械手的取向位置是否正确等，会产生非必要的内部连锁反应，增加回线时间，造成产能浪费等现象的问题。

为实现上述目的及其他相关目的，本发明提供一种机台视窗的遮挡装置，所述机台视窗的遮挡装置包括：

判断模块，用于确定晶圆传送盒的类型以及确定所述机台视窗的覆盖状态；

分析处理模块，用于接收所述晶圆传送盒的类型以及机台视窗的覆盖状态，以输出控制信号；

电机驱动模块，用于接收所述控制信号，以带动遮挡部件沿着所述机台视窗向上或向下运动。

在本发明的一实施例中，所述机台视窗的遮挡装置还包括：

弹性支撑柱，其安装于机台载台上设定特征点位置的支撑柱孔洞内，所述弹性支撑柱与所述判断模块相连接。

在本发明的一实施例中，所述判断模块包括：

至少一第一感应模块，用于感应弹性支撑柱的位置变化；

第一判断模块，用于根据所述弹性支撑柱的位置变化，以确定所述晶圆传送盒的类型；

至少一第二感应模块，用于感应所述遮挡部件的位置变化；

第二判断模块，用于根据所述遮挡部件的位置变化，以确定所述机台视窗的覆盖状态。

在本发明的一实施例中，所述第一感应模块安装于弹性支撑柱上。

在本发明的一实施例中，所述第二感应模块安装于所述机台视窗上，当所述遮挡部件位于所述机台视窗的顶端或底端时，则所述第二感应模块位于所述机台视窗的底端或顶端。

在本发明的一实施例中，所述晶圆传送盒的类型包括铜晶圆传送盒和非铜晶圆传送盒。

在本发明的一实施例中，所述遮挡部件的位置变化包括所述遮挡部件由所述机台视窗的顶端移动至底端，以及所述遮挡部件由所述机台视窗的底端移动至顶端。

本发明还提供一种机台视窗的遮挡方法，所述机台视窗的遮挡方法包括：

确定晶圆传送盒的类型；

确定所述机台视窗的覆盖状态；

根据所述晶圆传送盒的类型以及机台视窗的覆盖状态，决定遮挡部件是否运动以及运动的方向。