[发明专利]一种键合机引线机构及工作方法在审
申请号: | 201911191936.6 | 申请日: | 2019-11-28 |
公开(公告)号: | CN111048447A | 公开(公告)日: | 2020-04-21 |
发明(设计)人: | 杜东良 | 申请(专利权)人: | 南京微毫科技有限公司 |
主分类号: | H01L21/67 | 分类号: | H01L21/67;H01L21/48 |
代理公司: | 南京泰普专利代理事务所(普通合伙) 32360 | 代理人: | 张磊 |
地址: | 211135 江苏省南*** | 国省代码: | 江苏;32 |
权利要求书: | 查看更多 | 说明书: | 查看更多 |
摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 键合机 引线 机构 工作 方法 | ||
1.一种键合机引线机构,固定安装在键合机基座上,其特征在于,包括:固定安装在基座上的安装架,固定连接在安装架上的引线夹,以及设在基座上的送线机构;
所述引线夹包括:固定安装在引线线夹上的位移放大器,连接位移放大器的驱动电机,与驱动电机传动连接的一对连接桥板,以及连接在一对连接桥板另一端的左夹爪和右夹爪,所述位移放大器电连控制器。
2.根据权利要求1所述的一种键合机引线机构,其特征在于,所述左夹爪和右夹爪的内侧设有对应的半弧型腔,所述半弧型腔内置张力测控单元,所述张力测控单元通过导线电连控制器。
3.根据权利要求1所述的一种键合机引线机构,其特征在于,所述左夹爪和右夹爪的底部一侧为楔形端面。
4.根据权利要求1所述的一种键合机引线机构,其特征在于,所述安装架包括:对称安装基座上的L型支撑杆组,卡接在L型支撑杆组顶部的X轴滑轨组件;设置在X轴滑轨组件上的X轴丝杠组件,安装在X轴丝杠组件上的连接板,固定在连接板上的第一行程气缸,以及固定连接在第一行程气缸动力输出端的引线夹,所述X轴丝杠组件的一端传动连接伺服电机;所述引线夹在第一行程气缸的带动下完成上下运动的同时在伺服电机的带动下在X轴滑轨上移动。
5.根据权利要求1所述的一种键合机引线机构,其特征在于,所述送线机构包括:固定安装在基座上的支撑座,设置在支撑座顶部的Z轴滑轨,卡接在支撑座上的第二行程气缸,以及卡接在Z轴滑轨上的送线安装座;所述送线安装座连接送线部;所述第二行程气缸的动力输出端连接送线安装座,并在第二行程气缸的带动下在Z轴滑轨上运动,进而带动送线部沿Z轴方向运动。
6.一种键合机引线机构工作方法,其特征在于,包括如下步骤:
S1、送线机构一端的出线端在超声波的焊接下形成金属球,将送线机构传送出来的金属丝放置于左夹爪和右夹爪半弧型腔中,驱动电机带动左夹爪和右夹爪闭合;
S2、驱动机构带动引线夹夹紧引线,将一端形成金属球的引线连接至芯片金属化层,形成第一键合点;
S3、第一键合点固定后,引线夹在伺服电机和第一行程气缸的带动下水平运动,上升和下降使引线形成线弧,找到第二键合点进行焊接,焊接完成后左夹爪和右夹爪使用楔形端面,对引线完成断线;
S4、半弧型腔内置张力测控单元在引线夹运动时对弯曲的引线进行测量,在测量时预先设定张力的上限值和下限值。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于南京微毫科技有限公司,未经南京微毫科技有限公司许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服】
本文链接:http://www.vipzhuanli.com/pat/books/201911191936.6/1.html,转载请声明来源钻瓜专利网。
- 同类专利
- 专利分类
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造