[发明专利]一种键合机引线机构及工作方法在审

专利信息
申请号: 201911191936.6 申请日: 2019-11-28
公开(公告)号: CN111048447A 公开(公告)日: 2020-04-21
发明(设计)人: 杜东良 申请(专利权)人: 南京微毫科技有限公司
主分类号: H01L21/67 分类号: H01L21/67;H01L21/48
代理公司: 南京泰普专利代理事务所(普通合伙) 32360 代理人: 张磊
地址: 211135 江苏省南*** 国省代码: 江苏;32
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摘要:
搜索关键词: 一种 键合机 引线 机构 工作 方法
【说明书】:

发明公开了一种键合机引线机构,固定安装在键合机基座上,包括:固定安装在基座上的安装架,固定连接在安装架上的引线夹,以及设在基座上的送线机构;所述引线夹包括:固定安装在引线线夹上的位移放大器,连接位移放大器的驱动电机,与驱动电机传动连接的一对连接桥板,以及连接在一对连接桥板另一端的左夹爪和右夹爪。本发明通过伺服电机和第一行程气缸带动引线夹对送线部输出的金属丝进行调整,使其金属丝焊接在芯片金属层上,根据张力测控单元反馈金属丝在调整过程中产生的张力,精确第二键合点和引线夹调整的位置,避免金属丝自身张力过高造成的焊接失效。

技术领域

本发明属键合机设计领域,尤其是一种键合机引线机构及工作方法。

背景技术

在引线键合技术过程中,采用热、压力、以及超声波同时进行三次热压键合才能完成,当第一键合点完成时,引线夹运动至第二键合处后,连接在芯片或电极上的金属丝在引线夹的压持下形成线弧,由于金属丝自身材料的特性,形成线弧的金属丝本身具有一定张力,金属丝的张力和线夹的夹持力直接影响着键合质量和键合效率;现有的键合机通常无法感知金属丝自身的张力,因此采用引线夹多次调试完成键合,从而使键合效率和精度不高。

发明内容

发明目的:提供一种键合机引线机构及工作方法,以解决现有技术存在的上述问题。

技术方案:一种键合机引线机构,固定安装在键合机基座上,包括:固定安装在基座上的安装架,固定连接在安装架上的引线夹,以及设在基座上的送线机构;

所述引线夹包括:固定安装在引线线夹上的位移放大器,连接位移放大器的驱动电机,与驱动电机传动连接的一对连接桥板,以及连接在一对连接桥板另一端的左夹爪和右夹爪,所述位移放大器电连控制器。

在进一步的实施例中所述左夹爪和右夹爪的内侧设有对应的半弧型腔,所述半弧型腔内置张力测控单元,所述张力测控单元通过导线电连控制器,能够将检测到的张力发送至控制器。

在进一步的实施例中,所述左夹爪和右夹爪的底部一侧为楔形端面。

在进一步的实施例中,所述安装架包括:对称安装基座上的L型支撑杆组,卡接在L型支撑杆组顶部的X轴滑轨组件;设置在X轴滑轨组件上的X轴丝杠组件,安装在X轴丝杠组件上的连接板,固定在连接板上的第一行程气缸,以及固定连接在第一行程气缸动力输出端的引线夹,所述X轴丝杠组件的一端传动连接伺服电机;所述引线夹在第一行程气缸的带动下完成上下运动的同时在伺服电机的带动下在X轴滑轨上移动。

在进一步的实施例中,所述送线机构包括:固定安装在基座上的支撑座,设置在支撑座顶部的Z轴滑轨,卡接在支撑座上的第二行程气缸,以及卡接在Z轴滑轨上的送线安装座;所述送线安装座连接送线部;所述第二行程气缸的动力输出端连接送线安装座,并在第二行程气缸的带动下在Z轴滑轨上运动,进而带动送线部沿Z轴方向运动。

在进一步的实施例中,包括如下步骤:

S1、送线机构一端的出线端在超声波的焊接下形成金属球,将送线机构传送出来的金属丝放置于左夹爪和右夹爪半弧型腔中,驱动电机带动左夹爪和右夹爪闭合;

S2、驱动机构带动引线夹移动,将一端形成金属球的引线连接至芯片金属化层,形成第一键合点;

S3、第一键合点固定后,引线夹在伺服电机和第一行程气缸的带动下水平运动,上升和下降使引线形成线弧,找到第二键合点进行焊接,焊接完成后左夹爪和右夹爪使用楔形端面,对引线完成断线;

S4、半弧型腔内置张力测控单元在引线夹运动时对弯曲的引线进行测量,在测量时预先设定张力的上限值和下限值。

在进一步的实施例中,S4中张力的计算公式为:

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