[发明专利]一种用于软X射线透射成像的样品转接台

权利要求书

1.一种用于软X射线透射成像的样品转接台，用于固定一芯片式样品托(200)，该芯片式样品托(200)包括芯片(201)、设于芯片(201)的中心的样品(202)和设于样品(202)两侧的多个电极(203)，其特征在于，所述样品转接台包括金属支架(2)和固定于所述金属支架(2)的顶部的多个铂铱丝(3)；金属支架(2)的顶部具有用于插入芯片式样品托(200)的凹槽(21)；所述铂铱丝(3)的顶部对应于所述凹槽(21)，每个铂铱丝(3)的底部分别缠绕固定在一第一螺丝(51)上，并通过该第一螺丝(51)固定在所述金属支架(2)上；所述金属支架(2)上还设有与所述第一螺丝(51)一一对应的第二螺丝(52)，所述第一螺丝(51)和第二螺丝(52)之间通过金属片(6)电连接，每个第二螺丝(52)上分别设有一根一端固定于其上的真空导线(7)，真空导线(7)的另一端连接馈入法兰(8)。

2.根据权利要求1所述的用于软X射线透射成像的样品转接台，其特征在于，所述凹槽(21)的开口向上且宽度小于所述芯片(201)的宽度，所述凹槽(21)的侧壁上设有沿竖直方向延伸的导向槽(211)，该导向槽(211)的尺寸与所述芯片(201)的厚度一致。

3.根据权利要求1所述的用于软X射线透射成像的样品转接台，其特征在于，所述金属支架(2)面向所述铂铱丝(3)的一面上嵌设有一绝缘垫片(41)，所述绝缘垫片(41)上设有多个绝缘槽(411)，且所述铂铱丝(3)分别嵌入固定在所述绝缘槽(411)中。

4.根据权利要求3所述的用于软X射线透射成像的样品转接台，其特征在于，所述铂铱丝(3)和绝缘垫片(41)的中部通过同一个绝缘固定片(42)和其紧固件压紧固定在所述金属支架(2)的中部，且所述绝缘固定片(42)设于所述第一螺丝(51)和所述金属支架(2)之间。

5.根据权利要求4所述的用于软X射线透射成像的样品转接台，其特征在于，所述第二螺丝(52)和所述金属支架(2)之间设有一绝缘片(53)。

6.根据权利要求5所述的用于软X射线透射成像的样品转接台，其特征在于，所述绝缘垫片(41)、绝缘固定片(42)、绝缘片(43)的材质均为聚酰亚胺。

7.根据权利要求1所述的用于软X射线透射成像的样品转接台，其特征在于，所述铂铱丝(3)的顶部设置为在芯片式样品托(200)插入到位后，与所述芯片式样品托(200)上的电极(203)分别接触。

8.根据权利要求1所述的用于软X射线透射成像的样品转接台，其特征在于，所述铂铱丝(3)沿竖直方向延伸，其直径为0.25毫米，且其数量为4个。

9.根据权利要求1所述的用于软X射线透射成像的样品转接台，其特征在于，所述金属支架(2)自一金属底座(1)向上延伸，且所述金属底座(1)和金属支架(2)的材质为铝。

10.根据权利要求9所述的用于软X射线透射成像的样品转接台，其特征在于，还包括一个真空实验腔体(9)，所述金属底座(1)、金属支架(2)、铂铱丝(3)、第一螺丝(51)、第二螺丝(52)、金属片(6)和真空导线(7)均位于所述真空实验腔体(9)中，所述馈入法兰(8)位于所述真空实验腔体(9)上。