[发明专利]一种用于软X射线透射成像的样品转接台

说明书

本发明提供一种用于软X射线透射成像的样品转接台，用于固定芯片式样品托，其包括金属支架和固定于其顶部的多个铂铱丝；金属支架的顶部具有用于插入芯片式样品托的凹槽；所述铂铱丝的顶部对应于凹槽，每个铂铱丝的底部分别缠绕固定在第一螺丝上，并通过第一螺丝固定在金属支架上；金属支架上设有与第一螺丝一一对应的第二螺丝，第一螺丝和第二螺丝通过金属片电连接，每个第二螺丝依次连接真空导线和馈入法兰。本发明的样品转接台，顶端可以固定芯片式样品托，并通过采用铂铱丝来分别接触芯片上的多个电极，实现狭小缝隙处的电流导入，从而在电子显微镜里和在BL08U扫描透射实验站上均能给样品提供原位激励。

技术领域

本发明涉及同步辐射软X射线扫描成像领域，具体涉及一种用于软X射线透射成像的样品转接台。

背景技术

上海同步辐射装置(SSRF)是我国大陆目前唯一的一座第三代同步辐射光源，其中BL08U光束线具有能量可调和X光偏振态可调等特点，并配备有可以做软X射线扫描透射成像的实验站。

目前，存在研究者希望将在透射电子显微镜上测试过的样品直接拿到上海光源BL08U线站来做扫描透射成像。

在透射电子显微镜上测试的样品往往使用如图1所示的芯片式样品托200，样品202(通常是FIB处理后的)粘在芯片式样品托200的芯片201的中心，且该芯片式样品托200在其芯片201的中心的两侧设有四个铜质电极203，可以和电镜样品台上的电极一一相连，从而实现在电镜外通过不同的仪表，以对电镜里的样品进行原位加热、电流激励或电学测量等。

这些研究者在做透射电镜实验外，还想使用同一个芯片式样品托200在上海光源BL08U的扫描透射成像实验站上做实验，并且也想在实验时通过样品托上的四个电极给样品进行原位激励，但是目前BL08U的扫描透射成像实验站上并没有能兼容目前的芯片式样品托200的样品台。BL08U扫描透射实验站目前使用的样品台不是针对芯片式样品托200设计的，无法很好的固定芯片式样品托200。采用上海光源软X射线扫描透射成像实验站现有的样品台来固定芯片式样品托，只能采用粘贴的方法，这样并不牢固。并且，实验时，X光聚焦元件距离样品大约只有1毫米，即使将芯片式样品托200粘贴在BL08U实验站的样品台上，也很难在如此小的空间内，将芯片式样品托200上的四个微小电极和真空导线连接起来。

发明内容

本发明的目的在于提供一种用于软X射线透射成像的样品转接台，以使得芯片式样品托能够同时在透射电镜和扫描透射成像实验站上使用。

为了实现上述目的，本发明提供了一种用于软X射线透射成像的样品转接台，用于固定一芯片式样品托，该芯片式样品托包括芯片、设于芯片的中心的样品和设于样品两侧的多个电极，所述样品转接台包括金属支架和固定于所述金属支架的顶部的多个铂铱丝；金属支架的顶部具有用于插入芯片式样品托的凹槽；所述铂铱丝的顶部对应于所述凹槽，每个铂铱丝的底部分别缠绕固定在一第一螺丝上，并通过该第一螺丝固定在所述金属支架上；所述金属支架上还设有与所述第一螺丝一一对应的第二螺丝，所述第一螺丝和第二螺丝之间通过金属片电连接，每个第二螺丝上分别设有一根一端固定于其上的真空导线，真空导线的另一端连接馈入法兰。

所述凹槽的开口向上且宽度小于所述芯片的宽度，所述凹槽的侧壁上设有沿竖直方向延伸的导向槽，该导向槽的尺寸与所述芯片的厚度一致。

所述金属支架面向所述铂铱丝的一面上嵌设有一绝缘垫片，所述绝缘垫片上设有多个绝缘槽，且所述铂铱丝分别嵌入固定在所述绝缘槽中。

所述铂铱丝和绝缘垫片的中部通过同一个绝缘固定片和其紧固件压紧固定在所述金属支架的中部，且所述绝缘固定片设于所述第一螺丝和所述金属支架之间。

所述第二螺丝和所述金属支架之间设有一绝缘片。

所述绝缘垫片、绝缘固定片、绝缘片的材质均为聚酰亚胺。