[发明专利]一种坩埚系统

权利要求书

1.一种坩埚系统，其特征在于，包括：

坩埚；

蒸镀材料表面位置检测单元，用于检测所述坩埚中的蒸镀材料的表面位置；

两个加热单元，其中，一个加热单元用于自坩埚外侧进行加热，另一个加热单元用于自坩埚内侧进行加热；两个加热单元中的至少一个可相对于所述坩埚沿所述坩埚的轴线方向移动的安装于所述坩埚；

用于驱动可相对于所述坩埚移动的加热单元动作的驱动组件；

控制单元，所述控制单元与所述蒸镀材料表面位置检测单元以及所述驱动组件信号连接，用于根据所述蒸镀材料表面位置检测单元检测的蒸镀材料的表面位置信息控制所述驱动组件动作。

2.根据权利要求1所述的坩埚系统，其特征在于，当自坩埚外侧进行加热的加热单元可相对于所述坩埚移动时，所述驱动组件包括第一驱动单元；

所述第一驱动单元包括：

第一导向部，设置于所述坩埚外侧，且沿所述坩埚的轴线方向延伸；

第一滑动部，与所述自坩埚外侧进行加热的加热单元连接，并与所述第一导向部通过螺纹配合；

第一驱动部，与所述第一导向部的一端传动连接。

3.根据权利要求1或2所述的坩埚系统，其特征在于，当自坩埚内侧进行加热的加热单元可相对于所述坩埚移动时，所述驱动组件包括第二驱动单元；

所述第二驱动单元包括：

传动部，贯穿所述坩埚的底部，且一端与所述自坩埚内侧进行加热的加热单元连接，另一端位于所述坩埚外部；

驱动器，用于驱动所述传动部位于坩埚外部的一端沿所述坩埚的轴线方向移动。

4.根据权利要求3所述的坩埚系统，其特征在于，所述驱动器包括：

第二导向部，沿所述坩埚的轴线方向延伸；

第二滑动部，与所述传动部位于所述坩埚外的一端传动连接，并与所述第二导向部通过螺纹配合；

第二驱动部，与所述第二导向部的一端传动连接。

5.根据权利要求1所述的坩埚系统，其特征在于，所述坩埚系统还包括位于所述坩埚内部的隔离部件，所述隔离部件具有容纳腔，所述自坩埚内侧进行加热的加热单元形成于所述容纳腔中。

6.根据权利要求5所述的坩埚系统，其特征在于，所述隔离部件呈沿所述坩埚轴线方向延伸的杆状结构。

7.根据权利要求6所述的坩埚系统，其特征在于，所述隔离部件的轴线与所述坩埚的轴线重合。

8.根据权利要求5所述的坩埚系统，其特征在于，所述隔离部件呈沿所述坩埚的轴线方向延伸的板状结构，所述容纳腔在所述隔离部件内沿所述隔离部件垂直于所述坩埚的轴线方向的横截面的长度方向延伸。

9.根据权利要求8所述的坩埚系统，其特征在于，所述隔离部件的数量为多个，且多个隔离部件交叉设置，以将所述坩埚的内部空间分为至少3个区域。

10.根据权利要求8所述的坩埚系统，其特征在于，所述隔离部件的垂直于所述坩埚的轴线的横截面沿所述坩埚的径向延伸。