[发明专利]一种坩埚系统

说明书

本发明涉及蒸镀设备技术领域，公开一种坩埚系统，该坩埚系统，包括：坩埚；蒸镀材料表面位置检测单元，用于检测坩埚中的蒸镀材料的表面位置；两个加热单元，其中，一个加热单元用于自坩埚外侧进行加热，另一个加热单元用于自坩埚内侧进行加热；两个加热单元中的至少一个可相对于坩埚沿坩埚的轴线方向移动的安装于坩埚；用于驱动可相对于坩埚移动的加热单元动作的驱动组件；控制单元，控制单元与蒸镀材料表面位置检测单元以及驱动组件信号连接，用于根据蒸镀材料表面位置检测单元检测的蒸镀材料的表面位置信息控制驱动组件动作。从而，确保坩埚中蒸镀材料表面始终均匀受热，从而使蒸镀材料均匀挥发，保证蒸镀的膜层的均匀性。

技术领域

本发明涉及蒸镀设备技术领域，特别涉及一种坩埚系统。

背景技术

有机发光二极管等半导体器件在制备过程中通常需要采用蒸镀工艺，而蒸镀通常采用坩埚对其中的蒸镀材料(如有机物，可以是液态的，也可以是固体颗粒)进行加热，使蒸镀材料挥发到要形成器件的基板上。

在现有技术中，坩埚在进行蒸镀时，由于坩埚内蒸镀材料挥发速率不稳定，造成蒸镀工艺在基板各处形成的膜层厚度不均匀，影响产品质量。

发明内容

本发明公开了一种坩埚系统，用于提升坩埚系统在蒸镀过程中蒸镀材料挥发速率的稳定性。

为达到上述目的，本发明提供以下技术方案：

一种坩埚系统，包括：

坩埚；

蒸镀材料表面位置检测单元，用于检测所述坩埚中的蒸镀材料的表面位置；

两个加热单元，其中，一个加热单元用于自坩埚外侧进行加热，另一个加热单元用于自坩埚内侧进行加热；两个加热单元中的至少一个可相对于所述坩埚沿所述坩埚的轴线方向移动的安装于所述坩埚；

用于驱动可相对于所述坩埚移动的加热单元动作的驱动组件；

控制单元，所述控制单元与所述蒸镀材料表面位置检测单元以及所述驱动组件信号连接，用于根据所述蒸镀材料表面位置检测单元检测的蒸镀材料的表面位置信息控制所述驱动组件动作。

在上述坩埚系统中，在进行蒸镀时，坩埚承载要蒸镀的蒸镀材料，一个加热单元自坩埚外侧进行加热，另一个加热单元自坩埚内侧进行加热，确保坩埚内部的蒸镀材料内外受热均匀，蒸镀材料表面位置检测单元实时检测坩埚内的蒸镀材料的表面位置，控制单元根据蒸镀材料表面位置检测单元检测的蒸镀材料的表面位置信息控制驱动组件动作，以确保驱动组件驱动两个加热单元中的至少一个加热单元随着蒸镀材料表面的移动而移动，保持坩埚内蒸镀材料表面始终保持一定的温度，进而，确保坩埚中蒸镀材料始终以稳定的速率向外挥发，最终，确保基板等载体表面的膜层厚度均匀，保证了产品质量。

可选地，当自坩埚外侧进行加热的加热单元可相对于所述坩埚移动时，所述驱动组件包括第一驱动单元；

所述第一驱动单元包括：

第一导向部，设置于所述坩埚外侧，且沿所述坩埚的轴线方向延伸；

第一滑动部，与所述自坩埚外侧进行加热的加热单元连接，并与所述第一导向部通过螺纹配合；

第一驱动部，与所述第一导向部的一端传动连接。

可选地，当自坩埚内侧进行加热的加热单元可相对于所述坩埚移动时，所述驱动组件包括第二驱动单元；

所述第二驱动单元包括：

传动部，贯穿所述坩埚的底部，且一端与所述自坩埚内侧进行加热的加热单元连接，另一端位于所述坩埚外部；

驱动器，用于驱动所述传动部位于坩埚外部的一端沿所述坩埚的轴线方向移动。

可选地，所述驱动器包括：