[发明专利]一种立式磁控溅射彩膜生产线装置在审
申请号: | 201911193776.9 | 申请日: | 2019-11-28 |
公开(公告)号: | CN110699657A | 公开(公告)日: | 2020-01-17 |
发明(设计)人: | 冯宪轮;陈达舜 | 申请(专利权)人: | 湖南华庆科技有限公司 |
主分类号: | C23C14/35 | 分类号: | C23C14/35;C23C14/02;C23C14/56 |
代理公司: | 13131 石家庄知住优创知识产权代理事务所(普通合伙) | 代理人: | 王丽巧 |
地址: | 421000 湖南省衡阳市雁峰区岳*** | 国省代码: | 湖南;43 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 阀门 顶部设置 清洗室 进片 前缓冲室 出片室 缓冲室 真空抽气机组 离子清洗机 生产线装置 磁控溅射 镀膜室 彩膜 真空抽气系统 隔离间 隔断 门阀 生产 | ||
本发明公开了一种立式磁控溅射彩膜生产线装置,包括进片清洗室,进片清洗室的设置有GV1阀门,进片清洗室的右侧设置有GV2阀门,进片清洗室的顶部设置有第一离子清洗机,GV2阀门的右侧设置有前缓冲室,前缓冲室的顶部设置有两个真空抽气机组,前缓冲室的右侧设置有镀膜室,镀膜室的右侧设置有后缓冲室,后缓冲室的顶部设置有两个真空抽气机组,后缓冲室的右侧设置有GV3阀门,GV3阀门的右侧设置有出片室,出片室的顶部设置有第二离子清洗机,出片室的右侧设置有GV4阀门,GV4阀门的右侧设置有隔离间,该立式磁控溅射彩膜生产线装置,通过设置真空抽气系统的真空隔断采用独立门阀解决了难以真空生产的问题。
技术领域
本发明涉及彩膜生产技术领域,具体为一种立式磁控溅射彩膜生产线装置。
背景技术
彩膜是一种新型的钢化玻璃装饰材料,彩膜打破了以往主要以强化写真材料作为玻璃装饰的传统工艺,从而替代了强化写真材料主导了玻璃移门,玻璃橱柜,玻璃背景墙等玻璃装饰材料等市场。
中国专利文献CN 206570401 U公开了一种立式平面磁控溅射镀膜生产线,包括出口室、出口过渡室、出口缓冲室、镀膜室、进口缓冲室、进口过渡室和进口室,但是加工单元通过螺栓固定连接在一起,装置的内部安装有传送带,由于传送带不能完全密封,所以整个真空室难以达到完全真空的目的。
发明内容
(一)解决的技术问题
针对现有技术的不足,本发明提供了一种立式磁控溅射彩膜生产线装置,解决了难以真空生产的问题。
(二)技术方案
为实现上述目的,本发明提供如下技术方案:一种立式磁控溅射彩膜生产线装置,包括进片清洗室,所述进片清洗室的设置有GV1阀门,所述进片清洗室的右侧设置有GV2阀门,所述进片清洗室的顶部设置有第一离子清洗机,所述GV2阀门的右侧设置有前缓冲室,所述前缓冲室的顶部设置有两个真空抽气机组,所述前缓冲室的右侧设置有镀膜室,所述镀膜室的右侧设置有后缓冲室,所述后缓冲室的顶部设置有两个真空抽气机组,所述后缓冲室的右侧设置有GV3阀门,所述GV3阀门的右侧设置有出片室,所述出片室的顶部设置有第二离子清洗机,所述出片室的右侧设置有GV4阀门,所述GV4阀门的右侧设置有隔离间,所述隔离间的内部设置有外回转架,所述GV1阀门的左侧设置有料架。
作为上述技术方案的进一步描述,所述镀膜室采用SUS304不锈钢材料制作,其余均采用碳钢制作,此材料环保卫生、耐磨损、耐低温、热膨胀性能和保温性能极好。
作为上述技术方案的进一步描述,所述生产线由六个主真空室体组成,真空室配置二十个独立的气动挡板阀和四个气动门阀,该阀以压缩空气为动力,更加方便。
作为上述技术方案的进一步描述,所述真空室皆配置观察视窗,镀膜室内配置不锈钢防污衬板。可以更加方便的观察真空室内的情况。
作为上述技术方案的进一步描述,所述真空室整体喷砂或抛光处理,提高了工件的抗疲劳性,增加了它和涂层之间的附着力,延长了涂膜的耐久性,也有利于涂料的流平和装饰。
作为上述技术方案的进一步描述,所述进片清洗室内腔尺寸为:5600*1500*120mm(L*H*W),镀膜室内腔尺寸为:8800*1700*400mm(L*H*W),出片室内腔尺寸为:2900*1500*120mm(L*H*W),占地面积小更加方便安装使用。
(三)有益效果
本发明提供了一种立式磁控溅射彩膜生产线装置,具备以下有益效果:
(1)该立式磁控溅射彩膜生产线装置,通过设置有离子清洗机,离子清洗系统,离子密度高,放电稳定,粒子能量大,清洗效果好,通过设置有进片清洗室能够有效的对工料进行清洗。
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