[发明专利]一种刹车盘连续式渗硅炉及其工作方法

权利要求书

1.一种刹车盘连续式渗硅炉的工作方法，

所述刹车盘连续式渗硅炉包括外炉壳，外炉壳内设有真空室、高温反应室、低温缓冲室；真空室、高温反应室、低温缓冲室均设有保护气充气装置，真空室两侧设有真空密封门，高温反应室四周设有加热管，加热管通过调压器与智能温控仪连接，低温缓冲室设有保温层，高温反应室与低温缓冲室为相互连通；外炉壳底部设有轨道，轨道上设有坩埚套筒，坩埚套筒用于存放刹车盘和硅料，坩埚套筒经由轨道依次进入真空室、高温反应室、低温缓冲室；

轨道上设有动力部分和承载部分，动力部分包括电机丝杠，承载部分包括滚珠轴承组和载料板，滚珠轴承组套设于电机丝杠的丝杠上，载料板设于滚珠轴承组上方，载料板上设置坩埚套筒；

动力部分、保护气充气装置、智能温控仪均连接至控制电脑，由控制电脑控制动力部分的推动时机、推动距离、充气时机、加热温度；

包括步骤如下：

设定动力部分每小时推动一次、每次推动距离为2米，设置真空室的长度为2米、高温反应室的长度为2米、低温缓冲室的长度为6米；

设定真空室的保护气充气装置每小时真空充气一次，真空密封门每一小时打开一次；

将刹车盘和硅料放入坩埚套筒内，将坩埚套筒置于载料板上，启动电机丝杠，电机转动带动丝杠转动，滚珠轴承组带动载料板直线移动，移动至真空室时，真空室真空充气；再次移动时，真空室中的坩埚套筒进入高温反应室，反应时间为一小时，此时真空室中进入下一个坩埚套筒；再次移动时，高温反应室中的坩埚套筒进入低温缓冲室，后续坩埚依次进入；每一小时移动一次，高温反应室进入低温缓冲室中的坩埚套筒，在低温缓冲室中降温3小时，降温后推出低温缓冲室，实现阶段性投料循环生产。

2.根据权利要求1所述的刹车盘连续式渗硅炉的工作方法，其特征在于，真空密封门向真空室外侧打开。

3.根据权利要求1所述的刹车盘连续式渗硅炉的工作方法，其特征在于，真空密封门边缘设有密封条。

4.根据权利要求1所述的刹车盘连续式渗硅炉的工作方法，其特征在于，真空密封门与高温反应室之间设有0.5mm的间隙。

5.根据权利要求1所述的刹车盘连续式渗硅炉的工作方法，其特征在于，加热管为鼠笼式加热管。

6.根据权利要求1所述的刹车盘连续式渗硅炉的工作方法，其特征在于，滚珠轴承组、载料板、轨道均为石墨材料制成。

7.根据权利要求1所述的刹车盘连续式渗硅炉的工作方法，其特征在于，保护气充气装置中提供的保护气为氩气。