[发明专利]浆料管调整架

权利要求书

1.一种浆料管调整架，包括：

一第一架体，对应连接于一浆料管的一第一端部，所述第一架体包括一第一固定座、一第一移动件、一第二移动件及一定位座，其中所述第一移动件系可分离地连接于所述第一固定座，且所述第一移动件可相对所述第一固定座沿一第一方向位移；所述第二移动件系可分离地连接于所述第一移动件，且所述第二移动件可相对所述第一移动件沿一第二方向位移；所述定位座系连接于所述第二移动件，且可相对于所述第二移动件转动，所述浆料管的所述第一端部系设置于所述定位座上，所述定位座与所述第二移动件系藉由一第五调整机构调整所述定位座在所述第二移动件上的一倾斜角度；所述定位座具有一非圆容置座体，所述第一端部具有一非圆轮廓，所述非圆轮廓与所述非圆容置座体彼此配合，且无法彼此相对转动；以及

一第二架体，对应连接于所述浆料管的一第二端部，所述第二架体包括一第二固定座、一第三移动件及一第四移动件，其中所述第三移动件系可分离地连接于所述第二固定座，且所述第三移动件可相对所述第二固定座沿所述第一方向及所述第二方向中的一个位移；所述第四移动件系可分离地连接于所述第三移动件，且所述第四移动件可相对所述第三移动件沿所述第一方向及所述第二方向中的另一个位移；所述第四移动件包括一支撑座，所述浆料管的所述第二端部系设置于所述支撑座上，所述支撑座具有一凹槽，所述第二端部为一圆杆，所述圆杆系放置于所述凹槽内，且所述圆杆可相对所述凹槽转动；

其中，进行晶圆切割前，供所述浆料管放置的所述浆料管调整架可受操控地调整所述浆料管的放置位置及倾斜角度；而进行晶圆切割过程中，所述浆料管调整架必须为锁固状态并不能随意移动。

2.如权利要求1所述的浆料管调整架，其中，所述第一方向与所述第二方向系彼此垂直。

3.如权利要求2所述的浆料管调整架，其中，所述第一方向为一横向，所述第二方向为一纵向，且所述第一方向及所述第二方向系与所述浆料管的长方向垂直。

4.如权利要求1所述的浆料管调整架，其中，所述第一固定座与所述第一移动件系藉由一第一调整机构调整彼此的相对位置；所述第一移动件与所述第二移动件系藉由一第二调整机构调整彼此的相对位置；所述第二固定座与所述第三移动件系藉由一第三调整机构调整彼此的相对位置；所述第三移动件与所述第四移动件系藉由一第四调整机构调整彼此的相对位置。

5.如权利要求4所述的浆料管调整架，其中，所述第一调整机构、所述第二调整机构、所述第三调整机构及所述第四调整机构分别为锁杆与狭长孔之组合或螺杆或螺母之组合。

6.如权利要求4所述的浆料管调整架，其中，所述第五调整机构为锁杆与狭长孔之组合或螺栓与螺帽之组合。

7.如权利要求1所述的浆料管调整架，其中，所述定位座与所述支撑座系彼此对应设置。

8.如权利要求1所述的浆料管调整架，其中，所述第一架体包括一挡止件，当所述第一端部放置于所述定位座时，所述挡止件系遮挡于所述第一端部上，使所述第一端部被固定于所述挡止件与所述定位座之间。

9.如权利要求1所述的浆料管调整架，其中，所述定位座具有一凹槽，所述第一端部为一圆杆，所述圆杆系放置于所述凹槽内，且所述圆杆与所述凹槽系藉由一锁固机构连接，使所述圆杆与所述凹槽可彼此锁固或彼此相对转动。