[发明专利]浆料管调整架

说明书

一种浆料管调整架包括第一架体及第二架体，其中第一架体系对应连接于浆料管的第一端部，而第二架体系对应连接于浆料管的第二端部。第一架体及第二架体包括可分别沿横向及纵向移动的调整机构，藉以调整浆料管的位置；另外，第一架体包括可转动的调整机构，用以调整浆料管的倾斜角度。

技术领域

本发明与浆料管调整架有关；特别是指一种可调整浆料管位置及倾斜角度的调整架。

背景技术

在一般晶圆片制造过程中，晶柱系利用钻石线切割成一片一片的晶圆片，以供后续的电子晶片制程、太阳能晶片制程使用。当使用钻石线切割晶柱时，钻石线会对晶圆摩擦产生热，使晶圆温度升高，因此需要喷洒水柱使晶圆降温。然而，用以降温的传统浆料管大多系以一体成形的方式模铸制成，当浆料管需要清洗管体内部时，将难以彻底清除杂质污垢。

另一方面，当使用钻石线切割晶柱时，钻石线系缠绕于主轮上，且与主轮同动。在长期使用下，钻石线会磨损主轮表面，需将主轮表面抛磨平整后，方能继续使用；因此，主轮的轮径会因磨损而越来越小，使钻石线与晶柱的接触位置往下降。然而，传统浆料管的调整架系以焊接方式固定在晶柱切割机中，且无法调整浆料管的位置，因此当主轮的轮径因磨损而使使钻石线与晶柱的接触位置降低时，浆料管无法随之调整其位置，以致传统浆料管无法对晶柱切割制程提供较佳的降温效果。

是以，传统浆料管结构或传统浆料管调整架仍然存在既有的技术问题，需要克服解决。

发明内容

有鉴于此，本发明之目的在于提供一种浆料管结构，其可藉由拆解盖板，以便于清洁浆料管结构的本体。

缘以达成上述目的，本发明提供的一种浆料管结构包括一本体、一盖板及多个喷嘴。该本体包括一管壁、两个端壁、多个出料口及一进料口，其中该管壁及该两个端壁构成一长槽及一开口，该多个出料口系沿该本体的一长方向设置于该管壁；该进料口设置于该管壁，该进料口藉由该长槽连通于该多个出料口。该盖板系可拆离地连接于该本体，且对应覆盖该开口。该多个喷嘴系设置于该管壁，其中每一个该喷嘴系分别对应于一个该出料口。

本发明的另一目的在于提供的一种浆料管调整架，其可调整浆料管本体的位置及倾斜角度，以在晶柱切割制程中提供较佳的降温效果。

缘以达成上述目的，本发明提供的一种浆料管调整架包括一第一架体及一第二架体。该第一架体系对应连接于一浆料管的一第一端部，该第一架体包括一第一固定座、一第一移动件、一第二移动件及一定位座，其中该第一移动件系可分离地连接于该第一固定座，且该第一移动件可相对该第一固定座沿一第一方向位移；该第二移动件系可分离地连接于该第一移动件，且该第二移动件可相对该第一移动件沿一第二方向位移；该定位座系连接于该第二移动件，且可相对于该第二移动件转动，该浆料管的该第一端部系设置于该定位座上。该第二架体系对应连接于该浆料管的一第二端部，该第二架体包括一第二固定座、一第三移动件及一第四移动件，其中该第三移动件系可分离地连接于该第二固定座，且该第三移动件可相对该第二固定座沿该第一方向及该第二方向中的一个位移；该第四移动件系可分离地连接于该第三移动件，且该第四移动件可相对该第三移动件沿该第一方向及该第二方向中的另一个位移；该第四移动件包括一支撑座，该浆料管的该第二端部系设置于该支撑座上。

本发明的效果在于浆料管结构具有可拆离的盖板，相较于传统浆料管结构，可便于彻底清洁浆料管结构中的死角。另外，本发明实施例所提供的浆料管调整架具有多个调整机构，使浆料管调整架可配合钻石线与晶柱的接触位置调整浆料管结构的位置及倾斜角度，以在晶柱切割制程中提供较佳的降温效果。

附图说明

图1为本发明实施例的浆料管结构的俯视图，其中以虚线表示长槽及进料口的位置；

图2为本发明实施例的浆料管结构的侧视图，其中以虚线表示长槽、出料口及清洁孔的位置，且盖板与本体分离；

图3为本发明实施例的浆料管结构的仰视图，其中以虚线表示进料口的位置，其中盖板已移除；