[发明专利]光电二极管及其制备方法有效
申请号: | 201911203586.0 | 申请日: | 2019-11-29 |
公开(公告)号: | CN111048617B | 公开(公告)日: | 2021-06-01 |
发明(设计)人: | 肖军城;艾飞;宋继越 | 申请(专利权)人: | 武汉华星光电技术有限公司 |
主分类号: | H01L31/105 | 分类号: | H01L31/105;H01L31/0216;H01L31/0352;H01L31/18;G06K9/00 |
代理公司: | 深圳紫藤知识产权代理有限公司 44570 | 代理人: | 李新干 |
地址: | 430079 湖北省武汉市*** | 国省代码: | 湖北;42 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 光电二极管 及其 制备 方法 | ||
在本申请提供的光电二极管及其制备方法中,包括P电极、N电极以及用于连接P电极和N电极的导电沟道;其中,导电沟道包括第一导电沟道图案、第二导电沟道图案和第三导电沟道图案,第二导电沟道图案位于第一导电沟道图案与第三导电沟道图案之间,第一导电沟道图案与第三导电沟道图案均为梳子状结构,且第一导电沟道图案、第二导电沟道图案以及第三导电沟道图案相互配合呈咬合状,通过把光电二极管的导电沟道设置成梳子状结构,且能相互配合呈咬合状,从而增大了二极管的结面积,进而提高了光生电流,从而解决在满足器件的响应速度的前提下通过提高感光传感器的光生电流来提升指纹识别灵敏度的技术问题。
技术领域
本申请涉及显示领域,具体涉及一种光电二极管及其制备方法。
背景技术
目前,指纹识别技术已经广泛应用于中小尺寸的面板中,其中主要有电容式、超声波式和光学式等几种方式。相比于电容式和超声波式指纹识别技术,光学指纹识别技术稳定性好、抗静电能力强、穿透能力好且成本较低。光学指纹识别技术利用的是光的折射和反射原理,当光照射到手指上,经手指反射后由感光传感器接收,感光传感器接收后可将光信号转换为电学信号,从而进行读取;由于指纹谷和脊对光的反射不同,感光传感器所接收到谷和脊的反射光强不同,所转换的电流或者电压的大小也就不同,因此可以抓取指纹中的特殊点,提供唯一性的确认信息。
近年来,普遍采用的感光传感器为非晶硅材料的垂直型PIN二极管。对于感光传感器来说,光生电流越大,指纹识别的灵敏度就越高,而影响二极管的光生电流的因素主要有耗尽层宽度、二极管结面积和二极管表面的反射率。耗尽层宽度越宽,本征层能够吸收更多的光能,电子-空穴对可以被内建电场分离,光电流更大,响应度更好;但是耗尽层过大,载流子渡越时间会很长,从而降低器件的响应速度。
因此,怎样在满足器件的响应速度的前提下通过提高感光传感器的光生电流来提升指纹识别灵敏度是全世界面板厂家正在努力攻克的难关。
发明内容
本申请提供一种光电二极管及其制备方法,可以解决在满足器件的响应速度的前提下通过提高感光传感器的光生电流来提升指纹识别灵敏度的技术问题。
本申请提供一种光电二极管,包括:P电极、N电极以及用于连接P电极和N电极的导电沟道;其中,所述导电沟道包括第一导电沟道图案、第二导电沟道图案和第三导电沟道图案,所述第二导电沟道图案位于所述第一导电沟道图案与所述第三导电沟道图案之间,所述第一导电沟道图案与所述第三导电沟道图案均为梳子状结构,且所述第一导电沟道图案、所述第二导电沟道图案以及所述第三导电沟道图案相互配合呈咬合状。
在本申请所提供的光电二极管中,所述第一导电沟道图案包括第一主体部和多个第一支部,所述多个第一支部间隔设置在所述第一主体部的第一侧;所述第三导电沟道图案包括第二主体部和多个第二支部,所述多个第二支部间隔设置在所述第二主体部的第二侧;所述第一侧和所述第二侧相对设置,所述多个第一支部与所述多个第二支部错位设置。
在本申请所提供的光电二极管中,相邻所述第一支部之间设置有至少一个所述第二支部。
在本申请所提供的光电二极管中,当相邻所述第一支部之间设置一个所述第二支部时,所述多个第一支部等间隔设置在所述第一主体部,所述多个第二支部等间隔设置在所述第二主体部。
在本申请所提供的光电二极管中,当相邻所述第一支部之间设置至少两个所述第二支部时,所述多个第一支部的宽度大于所述第二支部的宽度。
在本申请所提供的光电二极管中,所述第一主体部包括相连接的第一区域和第二区域,所述第二主体部包括相互连接的第三区域和第四区域,其中,所述第一区域和所述第三区域分相对设置,所述第二区域和所述第四区域相对设置;
多个所述第一支部间隔设置在所述第一区域上,多个所述第二支部间隔设置在所述第三区域上。
在本申请所提供的光电二极管中,所述导电沟道上设置有吸光层图案,且所述吸光层图案将部分导电沟道裸露在外。
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