[发明专利]排气模块、晶圆处理系统及排放废气的方法

权利要求书

1.一种排气模块，用于从至少一个晶圆烘烤装置排放废气，其特征在于，所述排气模块包括：

至少一个管道，连接至所述晶圆烘烤装置的排气口，并且配置成从所述晶圆烘烤装置排放废气；

加热单元，连接至所述管道，并且配置成加热所述废气；

溶剂分配单元，连接至所述加热单元，并且配置成分配溶剂以冷却并溶解所述废气；以及

过滤单元，连接至所述溶剂分配单元，并且配置成过滤溶解有所述废气的所述溶剂。

2.如权利要求1所述的排气模块，其特征在于，还包括冷却水单元，所述冷却水单元联接至所述过滤单元并且配置成冷却所述过滤单元。

3.如权利要求2所述的排气模块，其特征在于，所述冷却水单元包括：将冷却水引入所述冷却水单元的入口；以及排出所述冷却水的出口。

4.如权利要求1所述的排气模块，其特征在于，所述加热单元包括加热管以及包围所述加热管的加热膜。

5.如权利要求4所述的排气模块，其特征在于，所述溶剂分配单元包括：溶剂分配管，连接至所述加热单元的所述加热管；以及将所述溶剂分配到所述溶剂分配管中的喷嘴。

6.如权利要求5所述的排气模块，其特征在于，所述溶剂分配单元的所述溶剂分配管竖直设置，所述加热单元的所述加热管水平设置。

7.一种晶圆处理系统，其特征在于，包括：

至少一个晶圆烘烤装置，配置成烘烤晶圆，所述晶圆烘烤装置包括：

腔室，具有排气口并用于容纳所述晶圆；以及

烘烤盘，设置在所述腔室中用于烘烤所述晶圆；以及

排气模块，用于从所述至少一个晶圆烘烤装置排放废气，所述排气模块包括：

至少一个管道，连接至所述晶圆烘烤装置的所述排气口，并且配置成从所述晶圆烘烤装置排放所述废气；

加热单元，连接至所述管道，并且配置成加热所述废气；

溶剂分配单元，连接至所述加热单元，并且配置成分配溶剂以冷却并溶解所述废气；以及

过滤单元，连接至所述溶剂分配单元，并且配置成过滤溶解有所述废气的所述溶剂。

8.如权利要求7所述的晶圆处理系统，其特征在于，所述排气模块还包括冷却水单元，所述冷却水单元联接至所述过滤单元并且配置成冷却所述过滤单元。

9.如权利要求7所述的晶圆处理系统，其特征在于，所述排气模块的所述加热单元包括加热管以及包围所述加热管的加热膜，所述排气模块的所述溶剂分配单元包括：溶剂分配管，连接至所述加热单元的所述加热管；以及喷嘴，配置成将溶剂分配到所述溶剂分配管中，所述加热单元的所述加热管水平设置，所述溶剂分配单元的所述溶剂分配管竖直设置。

10.一种排放废气的方法，用于从至少一个晶圆烘烤装置排放废气，其特征在于，包括：

将排气模块连接至所述晶圆烘烤装置的排气口，其中，所述排气模块包括至少一个管道、加热单元、溶剂分配单元和过滤单元；

通过所述排气模块的所述管道从所述晶圆烘烤装置的所述排气口排放所述废气；

在所述排气模块的所述加热单元中加热所述废气；

通过所述溶剂分配单元分配溶剂以冷却并溶解所述废气；以及

通过所述过滤单元过滤所述溶剂。