[发明专利]机械手臂

权利要求书

1.一种机械手臂，其特征在于，包括机械手臂本体及位于所述机械手臂本体上的至少一垫板，所述垫板包括：

基座，至少包括第一子基座及第二子基座，所述基座内设置有至少一个用于输送气体的第一通道；

位于所述基座上的支撑件，至少包括位于所述第一子基座上的第一支撑件、以及位于所述第二子基座上的第二支撑件；

位于所述基座上的反角构件，至少包括第一反角构件以及第二反角构件，所述第一反角构件靠近所述第一支撑件设置，所述第二反角构件靠近所述第二支撑件设置；

所述第一反角构件用于将来自所述第一通道内的气体输送至所述第一支撑件或所述第二支撑件，所述第二反角构件用于将来自所述第一通道的气体输送至所述第二支撑件或所述第一支撑件；

所述第一支撑件至少包括第一弧面，所述第一弧面位于所述第一支撑件靠近所述第二支撑件的一侧；

所述第二支撑件至少包括第二弧面，所述第二弧面位于所述第二支撑件靠近所述第一支撑件的一侧；

所述基座还包括第三子基座，所述第三子基座位于所述第一子基座与所述第二子基座之间。

2.根据权利要求1所述的机械手臂，其特征在于，

当所述第一反角构件位于所述第三子基座上时，所述第二反角构件位于所述第三子基座上；

当所述第一反角构件位于所述第一子基座上时，所述第二反角构件位于所述第二子基座上。

3.根据权利要求2所述的机械手臂，其特征在于，

当所述第一反角构件位于所述第一子基座上时，所述第一弧面用于将来自所述第一通道的气体输送至所述第二支撑件，所述第二弧面用于将来自所述第一通道的气体输送至所述第一支撑件；

当所述第一反角构件位于所述第三子基座上时，所述第一弧面用于将来自所述第一通道的气体输送至所述第一支撑件，所述第二弧面用于将来自所述第一通道的气体输送至所述第二支撑件；或者，

所述第一弧面用于将来自所述第一通道的气体输送至所述第二支撑件，所述第二弧面用于将来自所述第一通道的气体输送至所述第一支撑件。

4.根据权利要求3所述的机械手臂，其特征在于，

所述第一弧面包括至少一第一沟道，所述第二弧面包括至少一第二沟道；

所述第一沟道及所述第二沟道用于将来自所述第一通道的气体输送至所述第一支撑件和所述第二支撑件。

5.根据权利要求2所述的机械手臂，其特征在于，

所述基座内还设置有至少一用于输送气体的第二通道，所述第二通道位于所述第三子基座内。

6.根据权利要求5所述的机械手臂，其特征在于，

当所述反角构件位于所述第三子基座上时，所述第一反角构件包括至少一第一滑块，所述第一滑块位于所述第一反角构件远离所述第一子基座的一侧；

所述第二反角构件包括至少一第二滑块，所述第二滑块位于所述第二反角构件远离所述第二子基座的一侧；

其中，所述第一滑块和所述第二滑块的组合物包括至少一第一开口，所述第一开口位于所述第二通道上；

所述第一开口的直径小于或等于所述第二通道的内径。

7.根据权利要求2所述的机械手臂，其特征在于，

当所述反角构件位于所述第三子基座上时，所述第一反角构件至少包括一第一通路，所述第一通路自所述第一反角构件靠近所述第一子基座的一侧延伸至所述第一反角构件远离所述第三子基座的一侧；

所述第二反角构件至少包括第二通路，所述第二通路自所述第二反角构件靠近所述第二子基座的一侧延伸至所述第一反角构件远离所述第三子基座的一侧。

8.根据权利要求7所述的机械手臂，其特征在于，

所述第一通路位于所述第一反角构件靠近所述第一子基座的一侧设置有第一阀门，所述第一阀门用于调节流经所述第一通路的气体的流量；

所述第二通路位于所述第二反角构件靠近所述第二子基座的一侧设置有第二阀门，所述第二阀门用于调节流经所述第二通路的气体的流量。

9.根据权利要求1～8中任一项所述的机械手臂，其特征在于，

所述第一支撑件在所述第一子基座上间隔设置或/和所述第二支撑件在所述第二子基座上间隔设置；

当所述第一支撑件和所述第二支撑件都间隔设置时，至少存在一所述第一支撑件和一所述第二支撑件交错设置。