[发明专利]微粒子检测传感器和微粒子检测装置有效
申请号: | 201911209311.8 | 申请日: | 2019-11-30 |
公开(公告)号: | CN111257179B | 公开(公告)日: | 2022-07-05 |
发明(设计)人: | 增田佳史;山口阳史 | 申请(专利权)人: | 夏普株式会社 |
主分类号: | G01N15/06 | 分类号: | G01N15/06 |
代理公司: | 深圳市赛恩倍吉知识产权代理有限公司 44334 | 代理人: | 郝家欢 |
地址: | 日本国大*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 微粒子 检测 传感器 装置 | ||
1.一种微粒子检测传感器,其特征在于,包括:
发光元件,其输出输出光;
光接收元件,其检测通过对光接收视线范围内的微粒子照射所述输出光而产生的散射光;
透光树脂,其封装所述发光元件和所述光接收元件;以及
反射面,其设置于所述透光树脂处,并将从所述发光元件出射的所述输出光朝向所述光接收视线范围并反射,
向所述光接收视线范围照射的所述输出光的光束直径等于或小于所述反射面的形成宽度,
所述反射面缩窄所述输出光的光束直径并将所述输出光朝向所述光接收视线范围反射,并且由所述反射面反射的所述输出光的强度分布的半值强度宽度与1/e2的强度宽度之比大于高斯分布之比。
2.根据权利要求1所述的微粒子检测传感器,其特征在于,
所述光接收视线范围的视线方向与由所述反射面反射的所述输出光的光轴方向呈大致90度的角度。
3.根据权利要求1所述的微粒子检测传感器,其特征在于,
所述输出光是红外光,
所述光接收元件在红外线波长区域具有感度,
所述透光树脂不透射可见光,而透射所述红外光。
4.根据权利要求1所述的微粒子检测传感器,其特征在于,
所述发光元件是VCSEL。
5.根据权利要求4所述的微粒子检测传感器,其特征在于,
所述反射面是平面。
6.根据权利要求5所述的微粒子检测传感器,其特征在于,
所述发光元件具有输出所述输出光的多个发光点。
7.根据权利要求1所述的微粒子检测传感器,其特征在于,
在所述反射面上沉积有金属薄膜。
8.根据权利要求1所述的微粒子检测传感器,其特征在于,
在所述光接收视线范围内的所述透光树脂上设有光接收透镜。
9.根据权利要求1所述的微粒子检测传感器,其特征在于,
所述发光元件与所述光接收元件由相互分离的所述透光树脂封装。
10.根据权利要求9所述的微粒子检测传感器,其特征在于,
在除去所述光接收视线范围的部分处设有遮光树脂。
11.根据权利要求1所述的微粒子检测传感器,其特征在于,
在除去所述光接收视线范围的部分处设有金属屏蔽层。
12.一种微粒子检测装置,其特征在于,包括:
权利要求1所述的微粒子检测传感器;以及
壳体,其配置有所述微粒子检测传感器,
在所述壳体内设有用于捕获所述微粒子的风扇。
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