[发明专利]对准误差测量方法

权利要求书

1.一种对准误差测量方法，用于测量非对称的第一对准标记引入的对准误差，方法包括：

根据非对称位置确定至少四种类型的非对称对准标记，每一所述非对称对准标记包括一种所述非对称位置，所述第一对准标记包括至少一种所述非对称位置；

测量每一所述非对称对准标记引入的对准误差分量，以及测量所述第一对准标记对应的第一测量信号；

利用电磁仿真模型分别获取对称对准标记、每一所述非对称对准标记对应的理论测量信号；

根据所述第一测量信号、对称对准标记对应的理论测量信号、每一非对称对准标记对应的理论测量信号和对准误差分量计算每一非对称对准标记对应的权重因子；

根据每一所述非对称对准标记对应的权重因子和对准误差分量计算所述第一对准标记引入的对准误差。

2.根据权利要求1所述的方法，其中，所述测量每一所述非对称对准标记引入的对准误差分量，包括：

获取每一所述非对称对准标记对应的非对称性参数；

根据每一所述非对称性参数测量其对应的非对称对准标记引入的对准误差分量。

3.根据权利要求1所述的方法，其中，所述根据所述第一测量信号、对称对准标记对应的理论测量信号、每一非对称对准标记对应的理论测量信号和对准误差分量计算每一非对称对准标记对应的权重因子包括：

根据所述第一测量信号、对称对准标记对应的理论测量信号、每一非对称对准标记对应的理论测量信号计算每一非对称对准标记对应的第一权重因子；

根据每一所述非对称对准标记对应的对准误差分量、第一测量信号、对称对准标记对应的理论测量信号对所述第一权重因子进行更新，以得到所述权重因子。

4.根据权利要求3所述的方法，其中，当计算每一非对称对准标记对应的第一权重因子之后，所述方法还包括：

根据每一所述非对称对准标记对应的第一权重因子确定条件因子；

根据所述条件因子修改所述第一权重因子。

5.根据权利要求4所述的方法，其中，所述根据所述条件因子修改所述第一权重因子，包括：

当所述条件因子不大于第一阈值时，所述第一权重因子保持不变；

当所述条件因子大于所述第一阈值时，将所述第一权重因子中的最大值或最小值修改为0。

6.根据权利要求4所述的方法，其中，所述条件因子为：

其中，C为所述条件因子，N为非对称对准标记的类型数量，a_i(i＝1，2，…，N)为第i种非对称对准标记对应的第一权重因子。

7.根据权利要求3所述的方法，其中，所述根据所述第一测量信号、对称对准标记对应的理论测量信号、每一非对称对准标记对应的理论测量信号计算每一非对称对准标记对应的第一权重因子中，计算所述第一权重因子的公式为：

其中，ΔI为所述第一测量信号与对称对准标记对应的理论测量信号之差，N为非对称对准标记的类型数量，a_i为第i种非对称对准标记对应的第一权重因子，ΔI_i为第i种非对称对准标记对应的理论测量信号与对称对准标记对应的理论测量信号之差。

8.根据权利要求3所述的方法，其中，所述根据每一所述非对称对准标记对应的对准误差分量、第一测量信号、对称对准标记对应的理论测量信号对所述第一权重因子进行更新，包括：

根据每一所述非对称对准标记对应的对准误差分量和第一权重因子建立测量信号变化量；

根据所述测量信号变化量、每一所述非对称对准标记对应的对准误差分量、第一测量信号、对称对准标记对应的理论测量信号对所述第一权重因子进行更新。

9.根据权利要求3所述的方法，其中，所述方法还包括：

重复执行所述根据每一所述非对称对准标记对应的对准误差分量、第一测量信号、对称对准标记对应的理论测量信号对所述第一权重因子进行更新的操作，直至更新后的第一权重因子收敛，以得到所述权重因子。

10.根据权利要求1所述的方法，其中，所述第一对准标记引入的对准误差为：

其中，Δx为所述第一对准标记引入的对准误差，N为非对称对准标记的类型数量，b_i为第i种非对称对准标记对应的权重因子，Δx_i为第i种非对称对准标记对应的对准误差分量。