[发明专利]铝蚀刻液回收再利用的装置与方法

权利要求书

1.铝蚀刻液回收再利用的装置，其特征在于，包括废酸储罐（1），其连接至反应釜（3）进料管线，反应釜（3）还连接有五氧化二磷加料管线；反应釜（3）出料口连接至蒸发器（5），蒸发器出料口连接至蒸发分离器（6），蒸发分离器气体出口依次连接乏气冷凝器（7）和乏气分离器（8），蒸发分离器液体出口连接至磷酸汽提塔（9），后依次连接磷酸调和釜（11）和磷酸储罐（13）；磷酸汽提塔下部设有氮气通入管道；所述反应釜外部设置夹套换热器；五氧化二磷加料管线上还设置氮气加入管线；

采用该装置进行生产时，具体步骤为：

1）铝蚀刻液储存于废酸储罐内，进料至反应釜，与反应釜内加入的五氧化二磷进行反应，磷酸质量浓度控制在80%～90%，反应釜温度控制在40℃～90℃；

2）反应后的料液通过蒸发器进行加热后进行蒸发分离器，气态的硝酸和醋酸从蒸发分离器的顶部进入乏气冷凝器冷凝，冷凝后的液体回收再用于铝蚀刻液的配制；

3）蒸发分离器的料液进入磷酸汽提塔内与磷酸汽提塔底部进入的氮气进行曝气后进入磷酸调和釜，调整至所需的磷酸浓度，进入到磷酸储罐，得到各个浓度规格需求的工业级磷酸。

2.根据权利要求1所述的装置，其特征在于：所述废酸储罐与反应釜之间设有反应进料泵（2），反应釜（3）与蒸发器（5）之间设有蒸发进料泵（4）。

3.根据权利要求1所述的装置，其特征在于：所述蒸发分离器和乏气分离器的上部均设有的丝网填料，蒸发分离器和乏气分离器的进料管均位于丝网填料下方。

4.根据权利要求1所述的装置，其特征在于：磷酸汽提塔（9）底部通过汽提循环泵（10）与汽提塔顶部喷淋器相连；磷酸调和釜（11）底部通过调和循环泵（12）与调和釜顶部喷淋器相连，磷酸调和釜顶部还设有水加入管线。

5.根据权利要求1所述的装置，其特征在于：所述磷酸汽提塔设有三级填料、磷酸调和釜设有两级填料，填料为陶瓷材质的鲍尔环或者拉西环。

6.根据权利要求1所述的装置，其特征在于：料液在蒸发器中升温至80℃～95℃，蒸发分离器中负压控制在-0.15 Mpa～-0.05Mpa，硝酸、醋酸混合气体在乏气冷凝器冷却至40℃～70℃。

7.根据权利要求1所述的装置，其特征在于：步骤3)中磷酸汽提塔底中氮气压力控制在0.15Mpa～0.2Mpa，气量控制在150L/min～250 L/min，氮气纯度为99.99％。