[发明专利]搬送装置以及物品制造方法

权利要求书

1.一种搬送装置，该搬送装置是不具有线性导轨的磁悬浮型的搬送装置，其特征在于，具有：

沿着第1方向配置的多个线圈；以及

沿着上述多个线圈移动的动子，

上述多个线圈具有与两个邻近的线圈之间的间隔以规定间隔配置的线圈、以及与两个邻近的线圈之间的间隔中的一方以大于上述规定间隔的大间隔配置的线圈，

配置成以下位置关系：上述动子经过跟以上述大间隔配置的线圈相向的区域时的、以上述大间隔配置的线圈与上述动子之间的距离，比上述动子经过跟与两个邻近的线圈之间的间隔以上述规定间隔配置的线圈相向的区域时的、以上述规定间隔配置的线圈与上述动子之间的距离小。

2.如权利要求1所述的搬送装置，其特征在于，

在以上述大间隔配置的线圈之间，配置有强磁性体或相对导磁率为10以上的部件。

3.如权利要求2所述的搬送装置，其特征在于，

上述强磁性体或相对导磁率为10以上的部件从上述线圈朝由上述大间隔形成的空间地配置。

4.如权利要求1所述的搬送装置，其特征在于，

以上述大间隔配置的线圈的、在上述动子经过时与上述动子之间的距离，相比以上述规定间隔配置的线圈的跟动子相向的面的、在上述动子经过时与上述动子之间的距离，小了上述规定间隔与上述大间隔之差的3％以上且15％以下的距离。

5.如权利要求1所述的搬送装置，其特征在于，

上述动子具有沿着第1方向配置的第1磁铁群和沿着与上述第1方向交叉的第2方向配置的第2磁铁群。

6.如权利要求5所述的搬送装置，其特征在于，

上述第1磁铁群以及上述第2磁铁群配置在上述动子的上表面。

7.如权利要求1所述的搬送装置，其特征在于，

上述的与两个邻近的线圈之间的间隔以规定间隔配置的线圈的芯，比上述的与两个邻近的线圈之间的间隔中的一方以大于上述规定间隔的大间隔配置的线圈的芯小。

8.一种搬送装置，该搬送装置是不具有线性导轨的磁悬浮型的搬送装置，其特征在于，具有：

沿着第1方向配置的收容有多个线圈的多个线圈箱；以及

沿着上述多个线圈箱移动的动子，

上述多个线圈箱具有与两个邻近的线圈之间的间隔以规定间隔配置的线圈箱、以及与两个邻近线圈箱之间的间隔中的一方以大于上述规定间隔的大间隔配置的线圈箱，

配置成以下位置关系：上述动子经过跟以上述大间隔配置的线圈箱相向的区域时的、以上述大间隔配置的线圈箱与上述动子之间的距离，比上述动子经过跟与两个邻近的线圈箱之间的间隔以上述规定间隔配置的线圈箱相向的区域时的、以上述规定间隔配置的线圈箱与上述动子之间的距离小。

9.如权利要求8所述的搬送装置，其特征在于，

在以上述大间隔配置的线圈箱之间，配置有强磁性体或相对导磁率为10以上的部件。

10.如权利要求9所述的搬送装置，其特征在于，

上述强磁性体或相对导磁率为10以上的部件从上述线圈箱朝由上述大间隔形成的空间地配置。

11.如权利要求8所述的搬送装置，其特征在于，

上述两个线圈箱的、在上述动子经过时与上述动子之间的距离，相比以上述规定间隔配置的线圈箱的跟动子相向的面的、在上述动子经过时与上述动子之间的距离，小了上述规定间隔与上述大间隔之差的3％以上且15％以下的距离。

12.如权利要求8所述的搬送装置，其特征在于，

上述动子具有沿着第1方向配置的第1磁铁群和沿着与上述第1方向交叉的第2方向配置的第2磁铁群。

13.如权利要求12所述的搬送装置，其特征在于，

上述第1磁铁群以及上述第2磁铁群配置在上述动子的上表面。

14.一种物品制造方法，其特征在于，

对利用权利要求1所述的搬送装置搬送来的工件进行加工，从而制造物品。