[发明专利]搬送装置以及物品制造方法

说明书

本发明提供可稳定且顺畅地以非接触方式搬送动子的搬送装置以及物品制造方法。搬送装置具有沿着第1方向配置的多个线圈和沿着上述多个线圈移动的动子，上述多个线圈具有以规定间隔配置的线圈和以比空开上述规定间隔地配置的线圈大的大间隔配置的两个线圈，以上述大间隔配置的两个线圈配置在以下位置：跟与以上述规定间隔配置的线圈的动子相向的面的在动子经过时与上述动子之间的距离相比，与上述动子之间的距离变小。

技术领域

本发明涉及搬送装置以及物品制造方法。

背景技术

一般来讲，在用于组装工业产品的生产线或半导体曝光装置等中采用搬送系统。特别是生产线的搬送系统在工厂自动化的生产线内或是生产线之间的多个工位间对部件等工件进行搬送。另外，有时也作为加工装置中的搬送装置被使用。作为搬送系统，已经提出了利用可动磁铁型线性马达的搬送系统。

在利用可动磁铁型线性马达的搬送系统中，采用线性导轨等伴随有机械接触的引导装置来构成搬送系统。但是，对于使用线性导轨等引导装置的搬送系统而言，存在因从线性导轨的滑动部产生的污染物质例如导轨或轴承的摩耗碎片、润滑油或是其挥发后的物质等导致生产率变差这样的问题。另外，存在当高速搬送时滑动部的摩擦变大而致使线性导轨的寿命缩短这样的问题。

于是，在专利文献1中记载了能以非接触方式对搬送托盘进行搬送的磁悬浮搬送装置。像专利文献1所记载那样的磁悬浮搬送装置，沿着搬送托盘的搬送方向，在腔室的上部以恒定间隔排列悬浮用电磁铁，在腔室的侧面以恒定间隔排列定子线圈，从而稳定地实现非接触方式的搬送。

在先技术文献

专利文献1：日本特表2016-532308号公报

发明所要解决的课题

但是，在生产线内或是生产线之间的多个工位间搬送工件等动子的场合，存在无论怎样都无法配置电磁铁和线圈的场所。例如，在真空腔室中，出于进行维护、环境控制的目的而需要在中途设置闸阀来进行分隔。在这样的场合，无法以恒定间隔配置电磁铁和线圈。因而，由于吸引力的变化而有可能导致搬送过程中的部件或工件倾斜或下落。

发明内容

本发明的目的在于提供能够稳定且顺畅地以非接触方式搬送动子的搬送装置以及物品制造方法。

用于解决课题的方案

本发明的搬送装置，其特征在于，具有：沿着第1方向配置的多个线圈；以及沿着上述多个线圈移动的动子，上述多个线圈具有与两个邻近的线圈之间的间隔以规定间隔配置的线圈、以及与两个邻近的线圈之间的间隔中的一方以大于上述规定间隔的大间隔配置的线圈，配置成以下位置关系：上述动子经过跟以上述大间隔配置的线圈相向的区域时的、以上述大间隔配置的线圈与上述动子之间的距离，比上述动子经过跟与两个邻近的线圈之间的间隔以上述规定间隔配置的线圈相向的区域时的、以上述规定间隔配置的线圈与上述动子之间的距离小。

本发明的搬送装置，其特征在于，具有：沿着第1方向配置的多个线圈；以及沿着上述多个线圈移动的动子，上述多个线圈具有与两个邻近的线圈之间的间隔以规定间隔配置的线圈、以及与两个邻近的线圈之间的间隔中的一方以大于上述规定间隔的大间隔配置的线圈，上述的与两个邻近的线圈之间的间隔以规定间隔配置的线圈的芯，比上述的与两个邻近的线圈之间的间隔中的一方以大于上述规定间隔的大间隔配置的线圈的芯小。

本发明的搬送装置，其特征在于，具有：沿着第1方向配置的收容有多个线圈的多个线圈箱；以及沿着上述多个线圈箱移动的动子，上述多个线圈箱具有与两个邻近的线圈之间的间隔以规定间隔配置的线圈箱、以及与两个邻近线圈箱之间的间隔中的一方以大于上述规定间隔的大间隔配置的线圈箱，配置成以下位置关系：上述动子经过跟以上述大间隔配置的线圈箱相向的区域时的、以上述大间隔配置的线圈箱与上述动子之间的距离，比上述动子经过跟与两个邻近的线圈箱之间的间隔以上述规定间隔配置的线圈箱相向的区域时的、以上述规定间隔配置的线圈箱与上述动子之间的距离小。