[发明专利]晶体管的开启电压的测试方法及测试装置

说明书

一种晶体管的开启电压的测试方法及测试装置。该测试方法包括：获得第一测量开启电压以及检测目标电流；对晶体管的源漏电流进行多个测试步骤，其中，多个测试步骤每个包括：对栅极施加测量电压，在源极和漏极之间施加源漏电压的同时，测量源极与漏极之间的测量电流，其中，多个测试步骤的多个测量电压彼此不同，源漏电压在多个测试步骤中保持不变，且在第一个测试步骤中采用第一测量开启电压作为测量电压，多个测试步骤的多个测量电流所构成的测量电流区间覆盖检测目标电流；以及基于多个测量电流获得晶体管的开启电压。上述测试方法可以提高开启电压的测试精度以及在同等测试精度下减少测试时间。

技术领域

本公开的实施例涉及一种晶体管的开启电压的测试方法及测试装置。

背景技术

在晶体管的生产过程中，对晶体管的参数测量是十分有必要的。尤其是在晶体管被制作完成后，需要测量得到该晶体管的栅极开启电压，以此判断晶体管的工作性能是否达标。

发明内容

本公开的实施例提供一种晶体管的开启电压的测试方法及测试装置。该测试方法可以提高开启电压的测试精度以及在同等测试精度下减少测试时间。

本公开至少一个实施例提供了一种晶体管的开启电压的测试方法，其中，所述晶体管包括栅极、源极和漏极，所述测试方法包括：获得第一测量开启电压以及检测目标电流；对所述晶体管的源漏电流进行多个测试步骤，其中，所述多个测试步骤每个包括：对所述栅极施加测量电压，在所述源极和所述漏极之间施加源漏电压的同时，测量所述源极与所述漏极之间的测量电流，其中，所述多个测试步骤的多个测量电压彼此不同，所述源漏电压在所述多个测试步骤中保持不变，且在第一个测试步骤中采用所述第一测量开启电压作为测量电压，多个测试步骤的多个测量电流所构成的测量电流区间覆盖所述检测目标电流；以及基于所述多个测量电流获得所述晶体管的开启电压。

例如，在本公开至少一个实施例提供的测试方法中，除最后一个测试步骤之外，所述多个测试步骤的每个还包括：比较所述测量电流与所述检测目标电流，当所述测量电流小于所述检测目标电流时，将所述测试步骤中的测量电压增加一个预设改变电压值，以得到用于下一个测试步骤的测量电压；或者当所述测试步骤中的所述测量电流大于所述检测目标电流时，所述测试步骤中的测量电压减小一个预设改变电压值，以得到用于下一个测试步骤的测量电压。

例如，在本公开至少一个实施例提供的测试方法中，在每个测试步骤中，所述预设改变电压值的大小相同。

例如，在本公开至少一个实施例提供的测试方法中，所述多个测试步骤的每个还包括：当所述测试步骤中的所述测量电流等于所述检测目标电流时，将所述测试步骤中的所述测量电流对应的测试步骤中的测量电压确定为所述晶体管的开启电压。

例如，在本公开至少一个实施例提供的测试方法中，基于所述多个测量电流获得所述晶体管的开启电压包括：基于所述测量电流区间中与所述检测目标电流紧邻的两个测量电流以及与所述两个测量电流分别对应的测试步骤中的两个测量电压，获得所述晶体管的开启电压。

例如，在本公开至少一个实施例提供的测试方法中，基于所述测量电流区间中与所述检测目标电流紧邻的两个测量电流以及与所述两个测量电流分别对应的测试步骤中的两个测量电压，获得所述晶体管的开启电压包括：获得所述两个测量电流的变化量与所述两个测量电压的变化量的比值，根据所述两个测量电流的变化量与所述两个测量电压的变化量的比值基于跨导法,得到所述晶体管的开启电压。

例如，在本公开至少一个实施例提供的测试方法中，根据所述两个测量电流的变化量与所述两个测量电压的变化量的比值基于跨导法得到所述晶体管的开启电压包括：根据所述两个测量电流的变化量与所述两个测量电压的变化量的比值确定与栅极电压-源漏电流的标准曲线相切的直线，根据所述直线与所述栅极电压-源漏电流的标准曲线的横坐标的交点获得第一栅极截止电压，根据所述第一栅极截止电压以及所述源漏电压得到所述晶体管的开启电压。