[发明专利]化学增幅型正型感光性树脂组成物及其应用

权利要求书

1.一种化学增幅型正型感光性树脂组成物，其特征在于，该化学增幅型正型感光性树脂组成物包括：

树脂(A)；

光酸产生剂(B)；以及

溶剂(C)，

其中，该树脂(A)是由混合物所共聚合而得，该混合物包括不饱和羧酸单体(a-1)、结构式(1-1)所示的含硅烷基的不饱和化合物(a-2)，以及含结构式(2-1)所示的酸解离性基的单体(a-3)：

在该结构式(1-1)中，该R¹代表氢原子或甲基；该R²及该R³代表各自独立的碳数为1至12的烷基、苯基、碳数为1至6的烷氧基或结构式(1-2)所示的基团；当该R²及该R³为多个，各个该R²及该R³为相同或不同；该a代表1至6的整数；该b代表1至150的整数；该R⁴代表碳数为1至6的烷基或结构式(1-3)所示的基团；

在该结构式(1-2)中，该R⁵、该R⁶及该R⁷代表各自独立的碳数为1至12个的烷基或苯基；当该R⁶及该R⁷为多个，各个该R⁶及该R⁷为相同或不同；该c代表1至13的整数；及

在该结构式(1-3)中，该R⁸、该R⁹及该R¹⁰代表各自独立的碳数为1至12的烷基或苯基；

在该结构式(2-1)中，该R¹¹和该R¹²各自独立为氢原子、烷基、脂环式烃基或芳基，其中该烷基、该脂环式烃基或该芳基所具有的氢原子的一部分或全部可被取代；而且，该R¹¹及该R¹²不同时为氢原子；该R¹³为烷基、脂环式烃基、芳烷基或者芳基；其中该R¹³的该烷基、该脂环式烃基、该芳烷基及该芳基所具有的氢原子的一部分或全部可被取代；该R¹¹与该R¹³可相互键结而与该R¹¹所键结的碳原子以及该R¹³所键结的氧原子一起形成环状醚结构。

2.根据权利要求1所述的化学增幅型正型感光性树脂组成物，其特征在于，该混合物包括含环氧基的不饱和单体(a-4)。

3.根据权利要求2所述的化学增幅型正型感光性树脂组成物，其特征在于，该含环氧基的不饱和单体(a-4)具有如下结构式(3-1)所示的结构的不饱和单体：

在该结构式(3-1)中，该R¹⁴代表氢原子或碳数为1至4的烷基；该R¹⁵代表氢原子或碳数为1至4的烷基；该R¹⁶、该R¹⁷、该R¹⁸及该R¹⁹分别独立地代表氢原子、氟原子、苯基、碳数为1至4的烷基或碳数为1至4的全氟烷基；且该a代表1至6的整数。

4.根据权利要求1所述的化学增幅型正型感光性树脂组成物，其特征在于，该光酸产生剂(B)为含下列结构式(4-1)的肟磺酸酯基的化合物：

在该结构式(4-1)中，该R²⁰为碳数为1至20的烷基、脂环式烃基、芳基，或是上述基团所具有的氢原子被部分或全部取代的基团；以及，该*为键结处。

5.根据权利要求1所述的化学增幅型正型感光性树脂组成物，其特征在于，基于该树脂(A)的使用量为100重量份，该光酸产生剂(B)的使用量为0.1重量份至10重量份，该溶剂(C)的使用量为200重量份至2000重量份。