[发明专利]张拉对位方法及装置

权利要求书

1.一种张拉对位方法，用于掩膜板的张拉对位操作，所述掩膜板上设有多个掩膜开口，其特征在于，所述方法包括：

获取所述掩膜板上对位孔坐标，并根据所述对位孔坐标建立对位坐标系；

在所述对位坐标系上对所述掩膜板上的所有所述掩膜开口进行图像获取，并根据图像获取结果绘制虚拟开口；

分别对每个所述虚拟开口进行坐标计算，以得到多个开口坐标，并计算所述开口坐标与对应预设坐标之间的坐标差值；

根据所述坐标差值控制夹爪对对应所述掩膜开口进行张拉操作。

2.如权利要求1所述的张拉对位方法，其特征在于，所述掩膜板上所述对位孔的数量为四个，所述根据所述对位孔坐标建立对位坐标系的步骤包括：

将所述对位孔进行连接，以绘制对位连接线，并将所述对位连接线之间的交叉连接点设置为对位原点；

根据所述对位原点绘制平面坐标系，以得到所述对位坐标系。

3.如权利要求1所述的张拉对位方法，其特征在于，所述在所述对位坐标系上对所述掩膜板上的所有所述掩膜开口进行图像获取的步骤包括：

分别获取每个所述掩膜开口的边界坐标，并将所述边界坐标映射至所述对位坐标系。

4.如权利要求1所述的张拉对位方法，其特征在于，所述分别对每个所述虚拟开口进行坐标计算的步骤包括：

将所述虚拟开口的各个顶点之间进行连接，以绘制开口连接线；

获取所述开口连接线之间的交点，将所述交点的坐标设置为所述开口坐标。

5.如权利要求1所述的张拉对位方法，其特征在于，所述根据所述坐标差值控制夹爪对对应所述掩膜开口进行张拉操作的步骤包括：

获取所有所述坐标差值中的最大值，并将所述最大值设置为目标差值；

将所述目标差值与本地预存储的张拉操作表进行匹配，以查询目标夹爪、目标张拉方向和目标张拉距离；

根据所述目标张拉方向和所述目标张拉距离控制所述目标夹爪对对应所述掩膜开口进行张拉。

6.一种张拉对位装置，其特征在于，所述装置包括：工作台、设于所述工作台上的安装架、设于所述安装架侧壁上的多个夹爪、设于所述安装架上的摄像头和分别与所述夹爪、所述摄像头通信连接的处理器。

7.如权利要求6所述的张拉对位装置，其特征在于，所述工作台上设有气浮组件，所述摄像头设于所述气浮组件上，所述气浮组件包括第一气浮导轨、与所述第一气浮导轨连接的龙门架和与所述龙门架连接的第二气浮导轨，所述第二气浮导轨上设有气浮滑块，所述摄像头设于所述气浮滑块的末端。

8.如权利要求6所述的张拉对位装置，其特征在于，所述安装架的中部设有避让孔，所述避让孔内设有支撑框架，所述支撑框架用于对待张拉的掩膜板进行支撑。

9.如权利要求7所述的张拉对位装置，其特征在于，所述气浮滑块的末端还设有激光焊接头。

10.如权利要求7所述的张拉对位装置，其特征在于，所述龙门架上还设有伺服电机和光栅尺。