[发明专利]一种辅助更换磁控溅射旋转靶材的装置有效
| 申请号： | 201911230674.X | 申请日： | 2019-12-04 |
| 公开（公告）号： | CN110846631B | 公开（公告）日： | 2020-10-16 |
| 发明（设计）人： | 易立;张朝晖;张军杰;魏玉飞 | 申请（专利权）人： | 长利玻璃洪湖有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/35 | 分类号： | C23C14/35 |
| 代理公司： | 北京高沃律师事务所 11569 | 代理人： | 王立普 |
| 地址： | 430090 湖北省武汉*** | 国省代码： | 湖北;42 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 辅助 更换 磁控溅射 旋转 装置 | ||
【权利要求书】：
1.一种辅助更换磁控溅射旋转靶材的装置，其特征在于：包括龙门架、靶材放置小车和卷扬机，在换靶小车两边铺设有预埋轨道，所述龙门架的底部滑动放置在两侧的所述预埋轨道上，所述卷扬机安装在所述龙门架的顶梁上并可沿顶梁滑动，所述卷扬机传动端通过吊带连接有吊钩；所述靶材放置小车通过连接杆固定在所述龙门架的一侧并随龙门架一起移动，所述靶材放置小车用于放置旧靶材；所述预埋轨道的长度超过换靶小车的长度和所述龙门架的支架底座长度之和；所述龙门架由电机通过减速机驱动，且所述龙门架沿所述预埋轨道前后运动。
2.根据权利要求1所述的辅助更换磁控溅射旋转靶材的装置，其特征在于：所述龙门架为工字钢制成的底部有连接有四个轨道轮的钢结构。
3.根据权利要求2所述的辅助更换磁控溅射旋转靶材的装置，其特征在于：所述减速机的输出轴与所述轨道轮的轮轴传动连接，所述轨道轮的轮轴另一端通过轴承座与所述龙门架的底脚相固定。
4.根据权利要求1所述的辅助更换磁控溅射旋转靶材的装置，其特征在于：所述靶材放置小车的顶面设置有圆形凹槽的泡沫垫。
5.根据权利要求1所述的辅助更换磁控溅射旋转靶材的装置，其特征在于：所述靶材放置小车的底部安装有四个万向轮。
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