[发明专利]一种辅助更换磁控溅射旋转靶材的装置

说明书

本发明公开一种辅助更换磁控溅射旋转靶材的装置，包括龙门架、靶材放置小车和卷扬机，在换靶小车两边铺设有预埋轨道，龙门架的底部滑动放置在两侧的预埋轨道上，卷扬机安装在龙门架的顶梁上并可沿顶梁滑动，卷扬机传动端通过吊带连接有吊钩；靶材放置小车通过连接杆固定在龙门架的一侧并随龙门架一起移动，靶材放置小车用于放置旧靶材。本发明中辅助更换磁控溅射旋转靶材的装置，在更换旋转靶材的操作过程中，无行车因更换旋转靶材需在换靶小车工位长时间停滞现象，换靶效率大大提高，停机维护总时长缩短约50％，延长了生产线的有效生产时长，可为企业创造更多产值。

技术领域

本发明涉及靶材更换技术领域，特别是涉及一种辅助更换磁控溅射旋转靶材的装置。

背景技术

目前全国的离线镀膜玻璃生产线有125条，镀膜生产线的镀膜机在每生产一个周期后应对设备进行停机维护和更换靶材。根据生产状态的不同，镀膜机更换靶材的频次约为20～40天/次，在镀膜线长达十数年的生命周期里，更换靶材作业是一项高频率的重复性工作。在现有的厂房结构和镀膜线布局的条件下，更换靶材的操作是：在镀膜机具备停机维护的条件后，用行车将镀膜机的阴极盖板吊到换靶小车上并固定，换靶小车翻转使靶材朝上。因旋转靶材较重且，必须用行车拉住靶材，等操作人员将靶材与阴极端头脱开后，行车将脱开的旧靶材吊到指定区域。工作人员将旧靶材里的磁棒抽出并更换新靶材，再用行车把新靶材吊到阴极上，然后工作人员把靶材与阴极端头固定，完成换靶工作。在旧靶材与阴极端头脱离和新靶材与阴极端头固定的整个过程中，需要行车全程辅助，且行车的大车位置始终固定在换靶小车的正上方，其它行车在做其它转运工作时无法通过此区域，只能等换靶工作结束再进行其它工作，使得工作效率极低，延长了设备停机维护时间，间接导致生产成本上涨。

发明内容

本发明的目的是提供一种辅助更换磁控溅射旋转靶材的装置，以解决上述现有技术存在的问题，提高了换靶效率，使得停机维护总时长缩短，延长了生产线的有效生产时长。

为实现上述目的，本发明提供了如下方案：本发明提供一种辅助更换磁控溅射旋转靶材的装置，包括龙门架、靶材放置小车和卷扬机，在换靶小车两边铺设有预埋轨道，所述龙门架的底部滑动放置在两侧的所述预埋轨道上，所述卷扬机安装在所述龙门架的顶梁上并可沿顶梁滑动，所述卷扬机传动端通过吊带连接有吊钩；所述靶材放置小车通过连接杆固定在所述龙门架的一侧并随龙门架一起移动，所述靶材放置小车用于放置旧靶材。

优选的，所述预埋轨道的长度超过换靶小车的长度和所述龙门架的支架底座长度之和。

优选的，所述龙门架由电机通过减速机驱动，且所述龙门架沿所述预埋轨道前后运动。

优选的，所述龙门架为工字钢制成的底部有连接有四个轨道轮的钢结构。

优选的，所述减速机的输出轴与所述轨道轮的轮轴传动连接，所述轨道轮的轮轴另一端通过轴承座与所述龙门架的底脚相固定。

优选的，所述靶材放置小车的顶面设置有圆形凹槽的泡沫垫。

优选的，所述靶材放置小车的底部安装有四个万向轮。

本发明相对于现有技术取得了以下技术效果：

本发明中辅助更换磁控溅射旋转靶材的装置，在更换旋转靶材的操作过程中，无行车因更换旋转靶材需在换靶小车工位长时间停滞现象，换靶效率大大提高，停机维护总时长缩短约50％，延长了生产线的有效生产时长，可为企业创造更多产值。

附图说明

为了更清楚地说明本发明实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本发明的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1为辅助更换磁控溅射旋转靶材的装置工作状态的正视图；