[发明专利]单晶炉自动定量真空加料系统在审
| 申请号： | 201911232492.6 | 申请日： | 2019-12-05 |
| 公开（公告）号： | CN110777426A | 公开（公告）日： | 2020-02-11 |
| 发明（设计）人： | 黄蕾;包应正 | 申请（专利权）人： | 无锡港晖电子有限公司 |
| 主分类号： | C30B15/02 | 分类号： | C30B15/02;C30B15/20;C30B29/06 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 214000 *** | 国省代码： | 江苏;32 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 加料 加料仓 吸料管 卡接 储料罐 计量仓 过滤器 上料模块 单晶炉 小料 主料 电性连接控制 真空加料系统 单晶硅棒 电性连接 定量加料 旋涡气泵 自动定量 连接管 上端 储料 连通 侧面 生产 | ||
1.一种单晶炉自动定量真空加料系统，包括储料罐（1），其特征在于：所述储料罐（1）的上端设置计量仓（2），所述计量仓（2）的上方设置加料仓（3），所述加料仓（3）的底部设置第一气动真空蝶阀（4）和第二气动真空蝶阀（16），所述加料仓（3）的侧面卡接吸料管（5），所述吸料管（5）的另一端卡接储料罐（1），所述加料仓（3）的顶部卡接吸气管（7），所述吸气管（7）的另一端卡接过滤器（8），所述过滤器（8）通过连接管（9）连通旋涡气泵（10），所述吸料管（5）和吸气管（7）的一端及与加料仓（3）连接的一端均设置控制阀（11），所述储料罐（1）内设置主料加料模块（12），所述计量仓（2）内设置小料加料模块（13），所述加料仓（3）内设置真空上料模块（14），所述主料加料模块（12）、小料加料模块（13）和真空上料模块（14）均电性连接PLC控制器（15），所述PLC控制器（15）电性连接控制屏（6）。
2.根据权利要求1所述的一种单晶炉自动定量真空加料系统，其特征在于：所述过滤器（8）的上方设置反吹模块，所述过滤器（8）通过螺栓固定安装在旋涡气泵（10）的一侧。
3.根据权利要求1所述的一种单晶炉自动定量真空加料系统，其特征在于：所述计量仓（2）的底部设置出料口，所述计量仓（2）的出料口连接单晶炉，所述计量仓（2）的容量设置为30L。
4.根据权利要求1所述的一种单晶炉自动定量真空加料系统，其特征在于：所述吸料管（5）连通加料仓（3）和储料罐（1），所述吸料管（5）连通加料仓（3）和过滤器（8）。
5.根据权利要求1所述的一种单晶炉自动定量真空加料系统，其特征在于：所述第一气动真空蝶阀（4）设置在第二气动真空蝶阀（16）的上方，所述第一气动真空蝶阀（4）和第二气动真空蝶阀（16）均设置在计量仓的上方。
6.根据权利要求1所述的一种单晶炉自动定量真空加料系统，其特征在于：所述PLC控制器（15）电性连接旋涡气泵（10），所述旋涡气泵（10）电性连接控制屏（6）。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于无锡港晖电子有限公司，未经无锡港晖电子有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/pat/books/201911232492.6/1.html，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：带晶种升降单元的铸造硅单晶炉及硅单晶生长方法
- 下一篇：晶体生长装置
