[发明专利]单晶炉自动定量真空加料系统在审
申请号: | 201911232492.6 | 申请日: | 2019-12-05 |
公开(公告)号: | CN110777426A | 公开(公告)日: | 2020-02-11 |
发明(设计)人: | 黄蕾;包应正 | 申请(专利权)人: | 无锡港晖电子有限公司 |
主分类号: | C30B15/02 | 分类号: | C30B15/02;C30B15/20;C30B29/06 |
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地址: | 214000 *** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 加料 加料仓 吸料管 卡接 储料罐 计量仓 过滤器 上料模块 单晶炉 小料 主料 电性连接控制 真空加料系统 单晶硅棒 电性连接 定量加料 旋涡气泵 自动定量 连接管 上端 储料 连通 侧面 生产 | ||
本发明公开了一种单晶炉自动定量真空加料系统,包括储料罐,所述储料罐的上端设置计量仓,所述计量仓的上方设置加料仓,所述加料仓的侧面卡接吸料管,所述吸料管的另一端卡接储料罐,所述加料仓的顶部卡接吸料管,所述吸料管的另一端卡接过滤器,所述过滤器通过连接管连通旋涡气泵,所述储料罐内设置主料加料模块,所述计量仓内设置小料加料模块,所述加料仓内设置真空上料模块,所述主料加料模块、小料加料模块和真空上料模块均电性连接PLC控制器,所述PLC控制器电性连接控制屏。该装置能够实现了单晶炉原料的自助定量加料,可以稳定,可靠的满足单晶硅棒生产的要求,实现了经济、高效。
技术领域
本发明属于单晶炉加料技术领域,具体涉及一种单晶炉自动定量真空加料系统。
背景技术
单晶硅棒的生产,需要在高温和真空状态下连续加料,且要求生成的硅棒拉起的速率和原料添加的速率相一致,目前国内一般用人工加料的方法,不但耗费人力,还难以控制精度,以影响产品质量,所以,我们提出一种单晶炉自动定量真空加料系统,以解决上述问题。
发明内容
本发明的目的在于提供一种单晶炉自动定量真空加料系统,以解决上述背景技术中提出的问题。
为实现上述目的,本发明提供如下技术方案:一种单晶炉自动定量真空加料系统,包括储料罐,所述储料罐的上端设置计量仓,所述计量仓的上方设置加料仓,所述加料仓的底部设置第一气动真空蝶阀和第二气动真空蝶阀,所述加料仓的侧面卡接吸料管,所述吸料管的另一端卡接储料罐,所述加料仓的顶部卡接吸气管,所述吸气管的另一端卡接过滤器,所述过滤器通过连接管连通旋涡气泵,所述吸料管和吸气管的一端及与加料仓连接的一端均设置控制阀,所述储料罐内设置主料加料模块,所述计量仓内设置小料加料模块,所述加料仓内设置真空上料模块,所述主料加料模块、小料加料模块和真空上料模块均电性连接PLC控制器,所述PLC控制器电性连接控制屏。
优选的,所述过滤器的上方设置反吹模块,所述过滤器通过螺栓固定安装在旋涡气泵的一侧。
优选的,所述计量仓的底部设置出料口,所述计量仓的出料口连接单晶炉,所述计量仓的容量设置为L。
优选的,所述吸料管连通加料仓和储料罐,所述吸气管连通加料仓和过滤器。
优选的,所述第一气动真空蝶阀设置在第二气动真空蝶阀的上方,所述第一气动真空蝶阀和第二气动真空蝶阀均设置在计量仓的上方。
优选的,所述PLC控制器电性连接旋涡气泵,所述旋涡气泵电性连接控制屏。
本发明的技术效果和优点:该一种单晶炉自动定量真空加料系统,通过设置主料加料模块、小料加料模块和真空上料模块,能够方便对单晶炉的自动上料,主料加料实现定量连续可调,能够稳定运行,通过设置旋涡气泵,并在旋涡气泵上的过滤器上设置反吹模块,能够方便对加料仓的内部吹气清理,以保证加料仓内部的干净,通过设置PLC控制器和控制屏,能够对系统内部的温度和真空气压监控和超限报警,可实现和上位机通讯,便于生产管理,操作方便,简单。
附图说明
图1为本发明的结构示意图;
图2为本发明的系统结构示意图。
图中:1、储料罐;2、计量仓;3、加料仓;4、第一气动真空蝶阀;5、吸料管;6、控制屏;7、吸气管;8、过滤器;9、连接管;10、旋涡气泵;11、控制阀;12、主料加料模块;13、小料加料模块;14、真空上料模块;15、PLC控制器;16、第二气动真空蝶阀。
具体实施方式
下面将结合本发明实施例中的附图,对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述,显然,所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例,而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例,本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例,都属于本发明保护的范围。
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