[发明专利]光电组件特性测量装置有效
申请号: | 201911232625.X | 申请日: | 2019-12-05 |
公开(公告)号: | CN113037212B | 公开(公告)日: | 2022-10-18 |
发明(设计)人: | 王友延;黄国玮;翁思渊 | 申请(专利权)人: | 致茂电子(苏州)有限公司 |
主分类号: | G01M11/02 | 分类号: | G01M11/02;H02S50/10;H02S50/15;G01R31/26 |
代理公司: | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人: | 赵晓荣 |
地址: | 215129 江苏省苏州市*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 光电 组件 特性 测量 装置 | ||
1.一种光电组件特性测量装置,其特征在于,包含:
一物镜,设置于一第一光路径中,用以接收一第一待测光线,并将该第一待测光线转换成一第二待测光线;
一成像镜,设置于该第一光路径中,用以接收该第二待测光线,并将该第二待测光线转换成一第三待测光线;
一摄影镜头,设置于该第一光路径中,用以接收该第三待测光线,并测量该第三待测光线的一光束特性;以及
一焦距调整模块,受控于一测试指令而选择性地提供一第一透光件于该第一光路径中,用以调整该第三待测光线的聚焦位置为一第一聚焦位置或一第二聚焦位置;
其中该焦距调整模块包含一第一载盘,该第一载盘具有一第一区域,该第一透光件装设于该第一区域中,该焦距调整模块受控于该测试指令而推动该第一载盘,用以选择性地使该第一区域对准该第一光路径;
其中该焦距调整模块更包含一第二载盘,该第二载盘具有一第三区域,第三透光件装设于该第三区域中,该焦距调整模块受控于该测试指令而更推动该第二载盘,用以选择性地使该第三区域对准该第一光路径。
2.如权利要求1所述的光电组件特性测量装置,其特征在于,当该第一区域对准该第一光路径,该第一透光件用以折射该第三待测光线,使该第三待测光线的聚焦位置为该第一聚焦位置。
3.如权利要求2所述的光电组件特性测量装置,其特征在于,该第一载盘更具有一第二区域,一第二透光件装设于该第二区域中,该焦距调整模块受控于该测试指令而推动该第一载盘,更用以选择性地使该第一区域或该第二区域对准该第一光路径。
4.如权利要求3所述的光电组件特性测量装置,其特征在于,当该第二区域对准该第一光路径,该第二透光件用以折射该第三待测光线,使该第三待测光线的聚焦位置为该第二聚焦位置,该第二聚焦位置相异于该第一聚焦位置。
5.如权利要求4所述的光电组件特性测量装置,其特征在于,该第一透光件与该第二透光件均为透明平板,该第一透光件与该第二透光件的折射率相同,且该第一透光件与该第二透光件的厚度不相同。
6.如权利要求4所述的光电组件特性测量装置,其特征在于,该第一透光件与该第二透光件均为透明平板,该第一透光件与该第二透光件的折射率不相同。
7.如权利要求2所述的光电组件特性测量装置,其特征在于,该第一载盘更具有一通孔,该焦距调整模块受控于该测试指令而推动该第一载盘,更用以选择性地使该第一区域或该通孔对准该第一光路径。
8.如权利要求7所述的光电组件特性测量装置,其特征在于,当该通孔对准该第一光路径,该第三待测光线的聚焦位置为该第二聚焦位置,该第二聚焦位置相异于该第一聚焦位置。
9.如权利要求1所述的光电组件特性测量装置,其特征在于,该摄影镜头测量该第三待测光线的该光束特性时,包含测量该第三待测光线的光束腰、发散角及数值孔径。
10.如权利要求1所述的光电组件特性测量装置,其特征在于,该成像镜和该摄影镜头的相对位置固定不变。
11.如权利要求1所述的光电组件特性测量装置,其特征在于,更包含一第一滤镜,设置于该第一光路径中且位于该物镜和该成像镜之间,用以减少该第二待测光线的光强度。
12.如权利要求1所述的光电组件特性测量装置,其特征在于,在该第一光路径中,该摄影镜头大致上位于该成像镜的一出光侧焦平面。
13.如权利要求1所述的光电组件特性测量装置,其特征在于,该第一待测光线由一光电组件射出,且在该第一光路径中,该光电组件是位在该物镜的一入光侧焦平面。
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