[发明专利]光电组件特性测量装置

说明书

本申请提供一种光电组件特性测量装置，包含物镜、成像镜、摄影镜头以及焦距调整模块。物镜设置于第一光路径中，用以接收第一待测光线，并将第一待测光线转换成第二待测光线。成像镜设置于第一光路径中，用以接收第二待测光线，并将第二待测光线转换成第三待测光线。摄影镜头设置于第一光路径中，用以接收第三待测光线，并测量第三待测光线的光束特性。焦距调整模块受控于测试指令而选择性地提供第一透光件于第一光路径中，用以调整第三待测光线的聚焦位置为第一聚焦位置或第二聚焦位置。

技术领域

本申请是有关于一种电子组件的测量装置，特别是关于一种用于检查光电组件特性的测量装置。

背景技术

随着光电技术的进步，目前已知可以用许多介质产生雷射，例如可以通过气体、化学或半导体等介质产生雷射。目前市面上以通过半导体产生雷射较为常见，一般称此类半导体为雷射二极管。实务上，雷射二极管制造完成后，还需进行许多光学检测，以确保雷射质量的稳定。然而，在检测雷射二极管发出的雷射光时，许多测量项目需要经常性地移动物镜的物平面或成像镜的像平面，例如与光束特性相关的测量光束腰(beam waist)、发散角(divergence angle)及数值孔径(numerical aperture，NA)等近场参数。于所属技术领域具有通常知识者可以明白，经常性地移动物镜或成像镜，将导致光学架构的测量条件不稳定，也容易产生测量上的误差。

此外，移动物镜的物平面或成像镜的像平面不仅会影响光学架构的稳定性，也会拉长测试时间。据此，业界需要一种新的光电组件特性测量装置，不仅要在测量的过程中保持物镜与成像镜的稳定，更要能快速地完成各种测试项目。

发明内容

有鉴于此，本申请提出一种光电组件特性测量装置，可以在固定物镜与成像镜的情况下，改变成像镜到摄影镜头之间的聚焦位置，从而能加快光电组件特性的测量效率。

本申请提出一种光电组件特性测量装置，包含物镜、成像镜、摄影镜头以及焦距调整模块。物镜设置于第一光路径中，用以接收第一待测光线，并将第一待测光线转换成第二待测光线。成像镜设置于第一光路径中，用以接收第二待测光线，并将第二待测光线转换成第三待测光线。摄影镜头设置于第一光路径中，用以接收第三待测光线，并测量第三待测光线的光束特性。焦距调整模块受控于测试指令而选择性地提供第一透光件于第一光路径中，用以调整第三待测光线的聚焦位置为第一聚焦位置或第二聚焦位置。

于一些实施例中，焦距调整模块包含第一载盘，第一载盘具有第一区域，第一透光件可以装设于第一区域中，焦距调整模块受控于测试指令而推动第一载盘，用以选择性地使第一区域对准第一光路径。当第一区域对准第一光路径，第一透光件用以折射第三待测光线，使第三待测光线的聚焦位置为第一聚焦位置。此外，第一载盘更可以具有第二区域，第二透光件装设于第二区域中，焦距调整模块受控于测试指令而推动第一载盘，更用以选择性地使第一区域或第二区域对准第一光路径。当第二区域对准该第一光路径，第二透光件也可以折射第三待测光线，使第三待测光线的聚焦位置为第二聚焦位置，第二聚焦位置相异于第一聚焦位置。

于一些实施例中，前述的第一透光件与第二透光件可以均为透明平板，第一透光件与第二透光件的折射率相同，且第一透光件与第二透光件的厚度不相同。或者，前述的第一透光件与第二透光件可以均为透明平板，而第一透光件与第二透光件的折射率不相同。

于一些实施例中，第一载盘更可以具有通孔，焦距调整模块受控于测试指令而推动第一载盘，更用以选择性地使第一区域或通孔对准第一光路径。当通孔对准该第一光路径，第三待测光线的聚焦位置为第二聚焦位置，第二聚焦位置相异于第一聚焦位置。此外，焦距调整模块更可以包含第二载盘，第二载盘可以具有第三区域，第三透光件装设于第三区域中，焦距调整模块受控于测试指令而更推动第二载盘，用以选择性地使第三区域对准第一光路径。