[发明专利]一种旋转扩晶装置

权利要求书

1.一种旋转扩晶装置，包括固定架、转动设置于固定架的晶元旋转台、装设于固定架的卡持机构、第一驱动机构及第二驱动机构；其特征在于：第一驱动机构包括转动设置于固定架的多个丝杆、分别螺接套设在多个丝杆外侧的多个螺母件、与所有螺母件连接的扩晶台，第一驱动机构用于驱动多个丝杆同步转动；第二驱动机构用于驱动晶元旋转台转动，卡持机构用于锁住晶元旋转台；扩晶台转动设置有与晶元旋转台配合的扩晶压板，多个丝杆围绕晶元旋转台的转动轴线设置。

2.根据权利要求1所述的旋转扩晶装置，其特征在于：晶元旋转台设有多个滚珠滑套，扩晶压板设有分别与多个滚珠滑套配合的多个滚珠滑竿，滚珠滑套套设在滚珠滑竿的外侧，滚珠滑竿与滚珠滑套滑动设置，多个滚珠滑套围绕晶元旋转台的转动轴线设置。

3.根据权利要求1所述的旋转扩晶装置，其特征在于：固定架设有贯穿固定架的穿孔，晶元旋转台容设于穿孔内；固定架转动设置有突伸入穿孔内的多个支撑轮，支撑轮设有第一环槽，第一环槽围绕支撑轮的转动轴线设置；晶元旋转台设有环形突肋，多个支撑轮围绕晶元旋转台设置，环形突肋伸入支撑轮的第一环槽内。

4.根据权利要求3所述的旋转扩晶装置，其特征在于：支撑轮为第一轴承，第一环槽自第一轴承的外圈的侧表面凹设而成。

5.根据权利要求3所述的旋转扩晶装置，其特征在于：多个支撑轮包括正心轮及偏心轮，正心轮的转动轴线与穿孔的中心轴线平行设置，偏心轮的转动轴线与穿孔的中心轴线交叉设置。

6.根据权利要求1所述的旋转扩晶装置，其特征在于：第一驱动机构包括第一电机、第一环带及多个第一带轮，多个第一带轮分别设置于多个丝杆，第一环带套设在多个第一带轮上，第一电机经由驱动第一环带或丝杆使得螺母件连带扩晶台移动；每一第一带轮均配置有转动设置在固定架的两个压轮，第一带轮位于配置的两个压轮之间，压轮将第一环带压持在第一带轮上，第一带轮与配置的两个压轮之间的第一环带呈V型。

7.根据权利要求1所述的旋转扩晶装置，其特征在于：卡持机构包括伸缩气缸、与伸缩气缸的活塞杆连接的卡柱；晶元旋转台可拆卸连接有多个卡头，多个卡头围绕晶元旋转台的转动轴线设置，卡头设有用于容设卡柱的卡孔。

8.根据权利要求1所述的旋转扩晶装置，其特征在于：第二驱动机构包括设置于固定架的第二电机，设置于第二电机的输出轴的第二带轮，套设于第二带轮外侧及晶元旋转台的外侧的第二环带；晶元旋转台设有容设第二环带的第二环槽，第二电机经由第二带轮、第二环带驱动晶元旋转台转动。

9.根据权利要求1所述的旋转扩晶装置，其特征在于：晶元旋转台可拆卸连接有与扩晶压板配合使用的扩晶圆环。

10.根据权利要求6所述的旋转扩晶装置，其特征在于：固定架转动设置有轴体，轴体设有第一齿轮，第一电机的输出轴连接有与第一齿轮啮合的第二齿轮，第二齿轮的半径小于第一齿轮的半径；轴体装设有主动轮，第一环带套设在主动轮的外侧。