[发明专利]渐变色U型镀膜生产方法

权利要求书

1.渐变色U型镀膜生产方法，所述渐变色U型镀膜生产方法应用于渐变色U型镀膜生产线，所述渐变色U型镀膜生产线包括两平行设置的传送流水线和一镀膜腔室，两传送流水线通过镀膜腔室相连，所述镀膜腔室内包括一基片架停靠站、靶材和旋转阴极，所述立式基片架位于基片架停靠站，所述靶材竖立于立式基片架和旋转阴极之间，所述渐变色U型镀膜生产方法包括如下步骤：

S1)向进口室传送基片，当所述进口室传入基片时，则通过真空泵将所述生产线上各个腔室抽真空至中真空范围，并将所述基片传送入进口缓冲室；

S2)在检测到进口缓冲室传入基片时，对所述基片进行加热，并将所述基片传送至进口过渡室；

S3)检测进口过渡室是否传入基片，当所述进口过渡室传入基片时，则对所述基片进行加热，并通过真空泵和分子泵对所述进口过渡室以及所述生产线后续的预设腔室进行抽真空至高真空范围，并将所述基片传送至清洗室；

S4)将在清洗室中已清洗完毕的基片传送至镀膜腔室，控制基片架停留在基片架停靠站，固定基片架，旋转阴极自转进行磁控溅射；

S5)在旋转阴极自转时，调整旋转阴极的磁场强度，用以调整靶材向基片溅射的离子颜色；

S6)检测出口过渡室是否传入基片，当出口过渡室传入基片时，则将真空范围由高真空范围降低至中真空后，将所述基片传送至出口缓冲室；

S7)检测出口缓冲室是否传入基片，当出口缓冲室传入基片时，则将真空范围由中真空范围降低至低真空后，将所述基片传送至出口室；

S8)检测出口室是否传入基片，当出口室传入基片时，则将真空范围由低真空范围降低至大气状态后，开启阀门将所述基片送出所述出口室。

2.根据权利要求1所述的渐变色U型镀膜生产方法，其特征在于，所述靶材中的金属原料包括镍、钛、锌、铬、镁、铌、锡、铝、铟、铁、锆铝、钛铝，所述金属原料通过化学方法制备为合金块。

3.根据权利要求1所述的渐变色U型镀膜生产方法，其特征在于，所述旋转阴极包括一旋转本体和嵌于旋转本体内的正负极，所述旋转本体通过现有的旋转机构实现自转。

4.根据权利要求1所述的渐变色U型镀膜生产方法，其特征在于，所述进口室、进口缓冲室、进口过渡室、清洗室和镀膜腔室内还设有加热器。

5.根据权利要求1所述的渐变色U型镀膜生产方法，其特征在于，所述镀膜腔室大于两个，每个镀膜腔室之间通过缓冲室相连。

6.根据权利要求1所述的渐变色U型镀膜生产方法，其特征在于，所述渐变色U型镀膜生产线设有真空泵。

7.根据权利要求6所述的渐变色U型镀膜生产方法，其特征在于，各室之间通过气动阀隔离真空度。