[发明专利]一种晶圆检测设备

权利要求书

1.一种晶圆检测设备，其结构包括支脚（1）、箱体（2）、控制键盘（3）、显示屏（4）、报警器（5）、检测室（6）、动力箱（7），所述箱体（2）底部焊接有支脚（1），所述箱体（2）外侧连接有控制键盘（3）、显示屏（4），所述箱体（2）底部设有动力箱（7），所述检测室（6）设在动力箱（7）上方，其特征在于：

所述检测室（6）内设有转向装置（8），所述转向装置（8）包括缩径装置（9）、固定装置（10）、移动装置（11）、圆盘（12），所述圆盘（12）设在缩径装置（9）中心，所述移动装置（11）设有3个分别安装在圆盘（12）的正西、正南、正东方向，所述固定装置（10）安装在圆盘（12）的正北方位。

2.根据权利要求1所述的一种晶圆检测设备，其特征在于：所述缩径装置（9）包括电机齿轮（90）、齿环（91）、低位挡块（92）、高位挡块（93）、推进块（94），所述齿环（91）外侧与电机齿轮（90）相啮合，所述齿环（91）内部设有3个推进块（94）、低位挡块（92），所述低位挡块（92）设在推进块（94）较低一端的侧面，所述推进块（94）较高一端连接有高位挡块（93）。

3.根据权利要求1所述的一种晶圆检测设备，其特征在于：所述圆盘（12）包括盘体（120）、导槽（121）、弹簧（122）、滑槽（123）、电磁铁装置（13），所述盘体（120）的正西、正南、正东方位分别设有导槽（121），所述导槽（121）内安装有弹簧（122），所述盘体（120）正北方位设有滑槽（123），所述滑槽（123）靠近中心的一端与电磁铁装置（13）相连接，所述电磁铁装置（13）设在盘体（120）中间。

4.根据权利要求1所述的一种晶圆检测设备，其特征在于：所述移动装置（11）包括弧形块（110）、凹槽（111）、导杆（112）、滑轮（113），所述弧形块（110）面向盘体（120）的一侧设有凹槽（111），所述凹槽（111）的内部两侧分别安装有滑轮（113），所述弧形块（110）底部与导杆（112）一端相连接，所述导杆（112）另一端设在导槽（121）并与弹簧（122）相接触。

5.根据权利要求1所述的一种晶圆检测设备，其特征在于：所述固定装置（10）包括方形块（100）、滚轮（101）、移动杆（102）、金属块（103），所述方形块（100）设有条形槽，该条形槽内安装有滚轮（101），所述方形块（100）通过移动杆（102）与金属块（103）相连接，所述金属块（103）设在滑槽（123）内部。

6.根据权利要求3所述的一种晶圆检测设备，其特征在于：所述电磁铁装置（13）包括衔铁（130）、线圈（131）、电池（132）、下触片（133）、上触片（134）、弹力片（135），所述衔铁（130）连接在滑槽（123）内端，所述衔铁（130）上缠绕有线圈（131），所述线圈（131）的一端与电池（132）相连接，另一端与上触片（134）相连接，所述上触片（134）设在下触片（133）上方并通过弹力片（135）连接在盘体（120）内，所述下触片（133）与电池（132）相连接。