[发明专利]圆顶应力隔离层有效
申请号: | 201911251108.7 | 申请日: | 2019-12-09 |
公开(公告)号: | CN111288247B | 公开(公告)日: | 2023-06-02 |
发明(设计)人: | L·布恩卡特;Y·杨;R·乔德里;A·坎古德 | 申请(专利权)人: | 应用材料公司 |
主分类号: | F16L59/02 | 分类号: | F16L59/02;F16L59/04 |
代理公司: | 上海专利商标事务所有限公司 31100 | 代理人: | 侯颖媖;张鑫 |
地址: | 美国加利*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 圆顶 应力 隔离 | ||
1.一种用于工艺腔室的装置,包括:
一个或多个腔室壁和圆顶组件,所述一个或多个腔室壁和所述圆顶组件在所述一个或多个腔室壁和所述圆顶组件中界定工艺容积,所述圆顶组件包括具有外表面的圆顶,所述外表面限定所述圆顶的圆周;
支撑基座,所述支撑基座设置在所述工艺容积中;
环形气体环,所述环形气体环设置在所述一个或多个腔室壁与所述圆顶组件之间,所述环形气体环具有与所述圆顶的所述外表面接触的内表面,所述环形气体环的一部分从所述圆顶径向向外延伸;和
绝缘层,所述绝缘层设置在所述环形气体环的表面上与所述圆顶组件相邻,所述绝缘层设置在所述环形气体环与所述圆顶组件之间。
2.如权利要求1所述的装置,其中所述绝缘层包括聚酰亚胺。
3.如权利要求1所述的装置,其中所述圆顶组件包括:
冷却板,所述冷却板具有形成在所述冷却板中的冷却通道;
加热板,所述加热板具有设置在所述加热板中的加热部件,所述加热板相邻于所述冷却板设置;
绝缘体,所述绝缘体与所述加热板相邻与所述冷却板相对设置;和
圆顶,所述圆顶与所述绝缘体相邻并且与所述加热板相对设置。
4.如权利要求3所述的装置,其中所述绝缘层的厚度在0.0025英寸与0.0035英寸之间。
5.如权利要求3所述的装置,其中所述绝缘层的厚度在0.010英寸与0.020英寸之间。
6.如权利要求3所述的装置,其中所述环形气体环的表面被粗糙化以增加所述绝缘层对所述环形气体环的所述表面的粘附。
7.如权利要求3所述的装置,其中在所述环形气体环的所述表面上的缺陷以及在所述圆顶的表面上的缺陷嵌入到所述绝缘层中。
8.一种用于工艺腔室的装置,包括:
腔室壁和圆顶组件,所述腔室壁和所述圆顶组件在所述腔室壁和所述圆顶组件中界定工艺容积,所述圆顶组件包括具有外表面的圆顶,所述外表面限定所述圆顶的圆周;
支撑基座,所述支撑基座设置在所述工艺容积中;
环形气体环,所述环形气体环设置在所述腔室壁与所述圆顶组件之间,所述环形气体环具有与所述圆顶的所述外表面接触的内表面,所述环形气体环的一部分从所述圆顶径向向外延伸;和
聚酰亚胺层,所述聚酰亚胺层设置在所述环形气体环与所述圆顶组件之间。
9.如权利要求8所述的装置,其中所述环形气体环的表面被粗糙化以增加所述聚酰亚胺层对所述环形气体环的所述表面的粘附。
10.如权利要求8所述的装置,其中所述聚酰亚胺层的厚度在0.0025英寸与0.0035英寸之间。
11.如权利要求8所述的装置,其中所述聚酰亚胺层的厚度在0.010英寸与0.020英寸之间。
12.如权利要求9所述的装置,其中所述环形气体环的所述表面具有在10微米与100微米之间的RMS表面粗糙度。
13.如权利要求8所述的装置,其中所述圆顶组件包括:
冷却板,所述冷却板具有形成在所述冷却板中的冷却通道;
加热板,所述加热板具有设置在所述加热板中的加热部件,所述加热板相邻于所述冷却板设置;
绝缘体,所述绝缘体与所述加热板相邻与所述冷却板相对设置;和
圆顶,所述圆顶与所述绝缘体相邻且与所述加热板相对设置。
14.如权利要求13所述的装置,其中在所述环形气体环的表面上的和在所述圆顶的表面上的缺陷嵌入到所述聚酰亚胺层中。
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