[发明专利]Topcon结构电池及其制备方法有效
申请号: | 201911257166.0 | 申请日: | 2019-12-10 |
公开(公告)号: | CN111009583B | 公开(公告)日: | 2022-03-22 |
发明(设计)人: | 李翔;张密超;姚俊 | 申请(专利权)人: | 江苏微导纳米科技股份有限公司 |
主分类号: | H01L31/0216 | 分类号: | H01L31/0216;H01L31/18 |
代理公司: | 苏州佳博知识产权代理事务所(普通合伙) 32342 | 代理人: | 罗宏伟 |
地址: | 214028 江苏*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | topcon 结构 电池 及其 制备 方法 | ||
1.一种Topcon结构电池,包括位于硅片背面的遂穿层、位于所述遂穿层背面的掺杂多晶硅层、位于所述掺杂多晶硅层背面的背面减反射层、位于所述背面减反射层背面的背面电极;其特征在于,所述Topcon结构电池还包括位于所述掺杂多晶硅层与所述背面减反射层之间的浆料阻挡层和背面透明导电膜,所述背面透明导电膜位于所述浆料阻挡层与所述掺杂多晶硅层之间,或所述背面透明导电膜位于所述浆料阻挡层与所述背面减反射层之间,所述浆料阻挡层为Al2O3层、或TiO2层、或ZrO2层、或HfO2层、或Ta2O5层、或Nb2O5层、或Sc2O3层、或Y2O3层、或MgO层、或B2O3层、或SiO2层、或GeO2层、或La2O3层、或CeO2层、或PrOx层、或Nd2O3层、或Sm2O3层、或EuOx层、或Gd2O3层、或Dy2O3层、或Ho2O3层、或Er2O3层、或Tm2O3层、或Yb2O3层、或Lu2O3层、或SrTiO3层、或BaTiO3层、或PbTiO3层、或PbZrO3层、或BixTiyO层、或BixSiyO层、或SrTa2O6层、或SrBi2Ta2O9层、或YScO3层、或LaAlO3层、或NdAlO3层、或GdScO3层、或LaScO3、或LaLuO3层、或Er3Ga5O13层中的至少一种或多种,所述掺杂多晶硅层的厚度小于200nm。
2.根据权利要求1所述的Topcon结构电池,其特征在于,所述浆料阻挡层的厚度介于0.1nm~100nm之间。
3.根据权利要求1所述的Topcon结构电池,其特征在于,所述背面透明导电膜为掺杂氧化锌薄膜或纳米银薄膜或氧化铟锡或掺钨氧化铟或掺铯氧化铟或掺钼氧化铟或掺氟氧化锡。
4.根据权利要求1所述的Topcon结构电池,其特征在于,所述背面透明导电膜的厚度介于50nm~150nm之间。
5.根据权利要求1~4任意一项所述的Topcon结构电池,其特征在于,所述Topcon结构电池还包括位于硅片正面的PN节、位于所述PN节正面的钝化层、位于所述钝化层正面的正面透明导电膜、位于所述正面透明导电膜正面的正面减反射层、位于正面减反射层正面的正面电极。
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