[发明专利]一种光学微电机传感器、基板及电子设备

权利要求书

1.一种光学微电机传感器，其特征在于，包括：

基板，所述基板的中间形成有圆形的第一通孔；

设置于所述基板上的环形基底，所述环形基底中间形成有与第一通孔同轴的环形基底，所述环形基底背离基板的一侧形成有多个凹槽组，每个凹槽组包括两个沿第二通孔的直径方向延伸的凹槽，且每个凹槽组中的两个凹槽的连线与所述第二通孔的轴线相交，每个所述凹槽的底部设置有第一电极；每两个相邻的凹槽之间设置有沿环形基底的延伸方向排列的至少一个第二电极，每个所述第二电极位于环形基底背离基板的一侧表面；每两个相邻的凹槽之间设置有沿环形基底的延伸方向排列的多个第三电极，所述第三电极设置于所述环形基底朝向所述第二通孔的一侧；

微镜本体，所述微镜本体与环形基底设置于所述基板的同一侧，且所述微镜本体在所述基板上的正投影位于所述环形基底在所述基板的正投影内，所述微镜本体背离所述基板的一侧表面形成反射面；所述微镜本体的两侧均设有伸出轴，两个所述伸出轴的轴心线在一条直线上且两个所述伸出轴的轴心线的连线与所述第二通孔的轴线相交；所述微镜本体的两侧均设有第四电极组，两个所述第四电极组之间的连线与两个所述伸出轴的轴心线的连线垂直，每个所述第四电极组包括沿所述微镜本体边沿排列且与第三电极交错设置的多个第四电极，当两个所述伸出轴分别沿轴心线旋转地设置于一个凹槽组的两个凹槽内、所述多个第四电极分别与第三电极在交错排列与分离之间切换时，所述微镜本体处于翻转工位；当两个所述伸出轴分别与第二电极接触、所述多个第四电极均位于所述环形基底背离所述基板的一侧时，所述微镜本体处于换位工位；

与每个所述第一电极、第二电极、第三电极和第四电极电连接的驱动电路。

2.根据权利要求1所述的光学微电机传感器，其特征在于，所述环形基底背离基板的一侧形成有三个凹槽组，每个凹槽组中两个凹槽的连线与相邻的凹槽组中两个凹槽的连线形成的夹角的角度均相同。

3.根据权利要求1所述的光学微电机传感器，其特征在于，每两个相邻的凹槽之间设置有沿环形基底的延伸方向排列的三个第二电极，每相邻的两个第二电极之间的距离均相同。

4.根据权利要求1所述的光学微电机传感器，其特征在于，所述环形基底与所述基板之间粘接固定。

5.根据权利要求1所述的光学微电机传感器，其特征在于，所述基板的材料为玻璃或树脂。

6.根据权利要求1所述的光学微电机传感器，其特征在于，所述环形基底的材料为介电常数大于1000C^2/(N*M^2)的材料。

7.根据权利要求1所述的光学微电机传感器，其特征在于，所述环形基底的材料为钛酸钡。

8.根据权利要求1所述的光学微电机传感器，其特征在于，所述第一电极和第二电极均通过光刻的方法制作形成。

9.根据权利要求1所述的光学微电机传感器，其特征在于，还包括设置于所述微镜本体和所述环形基底上的环形盖板，所述环形盖板与所述环形基底之间形成供所述微镜的伸出轴通过的通道，所述环形盖板与所述微镜本体相对的区域形成第三通孔，所述第三通孔的直径大于或等于第二通孔的直径。

10.根据权利要求9所述的光学微电机传感器，其特征在于，所述环形盖板与所述环形基底的凹槽相对的部位形成朝向所述凹槽内侧凸出的凸起，所述凸起与所述凹槽之间形成供所述微镜的伸出轴通过的通道。

11.一种基板，其特征在于，包括多个如权利要求1-10任一项所述的光学微电机传感器，多个所述光学微电机传感器呈阵列排布。

12.一种电子设备，其特征在于，包括如权利要求11所述的基板。