[发明专利]一种光学微电机传感器、基板及电子设备

说明书

本发明涉及光学微电机传感器技术领域，公开了一种光学微电机传感器、基板及电子设备，该光学微电机传感器包括基板、环形基底、微镜本体和驱动电路，其中，环形基底上形成有包括第一电极的多个凹槽组、用于移动微镜本体的第二电极、用于使微镜本体翻转的第三电极；微镜本体设有伸出轴以及用于与第三电极配合的第四电极组，当两个伸出轴旋转地设置于凹槽组内、第四电极组分别与第三电极在交错排列与分离之间切换时，微镜本体处于翻转工位；当两个伸出轴分别与第二电极接触、多个第四电极均位于环形基底背离基板的一侧时，微镜本体处于换位工位，该光学微电机传感器实现了微镜本体沿不同方向的翻转轴进行翻转以实现多维扫描，且结构简单、控制方便。

技术领域

本发明涉及光学微电机传感器技术领域，特别涉及一种光学微电机传感器、基板及电子设备。

背景技术

MEMS(Micro electro mechanical systems，微电机)传感器具有体积小、重量轻、功耗低、可靠性高、灵敏度高、易于集成等优点，广泛应用在压力传感、陀螺仪、静电致动光投影显示器等领域。

MEMS微镜是一种光学MEMS传感器，由微光反射镜、MEMS驱动器组成，MEMS微镜是激光应用必不可少的关键激光元器件，主要应用领域有三个：激光扫描、光通讯、数字显示，包括激光雷达、3D摄像头、条形码扫描、激光打印机、医疗成像、高清电视、激光微投影、数字影院、汽车抬头显示(HUD)、激光键盘、增强现实(AR)等方面。

现有MEMS微镜多为单轴，少数双轴MEMS微镜结构复杂，体积大。因此现有技术中的MEMS微镜由于旋转轴数量的限制，二维扫描难度高，三维及以上扫描无法实现，极大的限制了MEMS微镜的应用范围。

发明内容

本发明提供了一种光学微电机传感器、基板及电子设备，上述光学微电机传感器实现了微镜本体沿不同方向的翻转轴进行翻转以实现多维扫描，且结构简单、控制方便。

为达到上述目的，本发明提供以下技术方案：

一种光学微电机传感器，包括：

基板，所述基板的中间形成有圆形的第一通孔；

设置于所述基板上的环形基底，所述环形基底中间形成有与第一通孔同轴的第二通孔，所述环形基底背离基板的一侧形成有多个凹槽组，每个凹槽组包括两个沿第二通孔的直径方向延伸的凹槽，且每个凹槽组中的两个凹槽的连线与所述第二通孔的轴线相交，每个所述凹槽的底部设置有第一电极；每两个相邻的凹槽之间设置有沿环形基底的延伸方向排列的至少一个第二电极，每个所述第二电极位于环形基底背离基板的一侧表面；每两个相邻的凹槽之间设置有沿环形基底的延伸方向排列的多个第三电极，所述第三电极设置于所述环形基底朝向所述第二通孔的一侧；

微镜本体，所述微镜本体与环形基底设置于所述基板的同一侧，且所述微镜本体在所述基板上的正投影位于所述环形基底在所述基板的正投影内，所述微镜本体背离所述基板的一侧表面形成反射面；所述微镜本体的两侧均设有伸出轴，两个所述伸出轴的轴心线在一条直线上且两个所述伸出轴的轴心线的连线与所述第二通孔的轴线相交；所述微镜本体的两侧均设有第四电极组，两个所述第四电极组之间的连线与两个所述伸出轴的轴心线的连线垂直，每个所述第四电极组包括沿所述微镜本体边沿排列且与第三电极交错设置的多个第四电极，当两个所述伸出轴分别沿轴心线旋转地设置于一个凹槽组的两个凹槽内、所述多个第四电极分别与第三电极在交错排列与分离之间切换时，所述微镜本体处于翻转工位；当两个所述伸出轴分别与第二电极接触、所述多个第四电极均位于所述环形基底背离所述基板的一侧时，所述微镜本体处于换位工位；

与每个所述第一电极、第二电极、第三电极和第四电极电连接的驱动电路。