[发明专利]一种石墨薄膜的制备方法在审
申请号: | 201911264433.7 | 申请日: | 2019-12-11 |
公开(公告)号: | CN111072022A | 公开(公告)日: | 2020-04-28 |
发明(设计)人: | 张燕辉;于广辉;陈志蓥;隋妍萍 | 申请(专利权)人: | 中国科学院上海微系统与信息技术研究所 |
主分类号: | C01B32/205 | 分类号: | C01B32/205;C01B32/21 |
代理公司: | 广州三环专利商标代理有限公司 44202 | 代理人: | 郝传鑫;贾允 |
地址: | 200050 *** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 石墨 薄膜 制备 方法 | ||
1.一种石墨薄膜的制备方法,其特征在于,包括以下步骤:
获取镍衬底;
将固态碳源覆盖于所述镍衬底的上表面,所述固态碳源与所述镍衬底的上表面紧密接触;
将已覆盖所述固态碳源的所述镍衬底放入无氧反应器中;
对所述镍衬底进行加热使所述镍衬底的温度达到设定温度,所述设定温度的范围为500-1500摄氏度;
将所述镍衬底在所述设定温度保持设定时间;
对所述镍衬底进行降温使所述镍衬底的温度降至室温;
去除所述镍衬底的上表面残余的所述固态碳源,所述镍衬底的上表面和下表面均获得所述石墨薄膜。
2.根据权利要求1所述的石墨薄膜的制备方法,其特征在于,所述镍衬底为单质镍或镍合金材质。
3.根据权利要求2所述的石墨薄膜的制备方法,其特征在于,所述单质镍包括镍箔、镍粉和镍块中的一种或多种的组合;
所述镍合金包括铜镍、铁镍、钴镍、铬镍、钨镍、钼镍和锰镍中的一种或多种的组合。
4.根据权利要求1所述的石墨薄膜的制备方法,其特征在于,所述固态碳源包括石墨、木炭、煤炭和含碳的高分子化合物中的一种或多种的组合。
5.根据权利要求1所述的石墨薄膜的制备方法,其特征在于,所述将固态碳源覆盖于所述镍衬底的上表面,具体包括:
将粉体状的所述固态碳源直接铺在所述镍衬底表面;
或;
将液态试剂与所述固态碳源混合后涂覆在所述镍衬底的上表面。
6.根据权利要求1所述的石墨薄膜的制备方法,其特征在于,所述固态碳源覆盖于所述镍衬底的上表面的方式包括完全覆盖、局部覆盖或根据设定图案覆盖。
7.根据权利要求1所述的石墨薄膜的制备方法,其特征在于,所述对所述镍衬底进行加热,具体包括:
通过所述镍衬底与加热台接触方式、气体加热方式或光加热方式对所述镍衬底进行加热。
8.根据权利要求1所述的石墨薄膜的制备方法,其特征在于,所述去除所述镍衬底的上表面残余的所述固态碳源,具体包括:
通过气体吹落方式或者水洗方式去除所述镍衬底的上表面残余的所述固态碳源。
9.根据权利要求1所述的石墨薄膜的制备方法,其特征在于,还包括以下步骤:将所述石墨薄膜与所述镍衬底分离,具体包括:
采用湿法腐蚀的方法去除所述镍衬底;
或;
采用鼓泡法将所述石墨薄膜与所述镍衬底分离。
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