[发明专利]全封闭石英晶片清洗机在审
| 申请号： | 201911265146.8 | 申请日： | 2019-12-11 |
| 公开（公告）号： | CN110882997A | 公开（公告）日： | 2020-03-17 |
| 发明（设计）人： | 刘兴波 | 申请（专利权）人： | 珠海东锦石英科技有限公司 |
| 主分类号： | B08B3/08 | 分类号： | B08B3/08;B08B3/02;B08B3/12;B08B3/10;B08B13/00 |
| 代理公司： | 广州市红荔专利代理有限公司 44214 | 代理人： | 王贤义 |
| 地址： | 519000 广东省珠海*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 封闭 石英 晶片 清洗 | ||
1.一种全封闭石英晶片清洗机，其特征在于：其包括机箱（1），所述机箱（1）中设置有漏水板（2）、废水回收模块（3）及三个顶升机构（4），所述漏水板（2）上设置有药剂清洗水池（5）、喷洗水池（6）及清水水池（7），所述废水回收模块（3）位于所述漏水板（2）的下方，且与所述药剂清洗水池（5）、所述喷洗水池（6）及所述清水水池（7）配合，所述顶升机构（4）的下端配合设置有晶片放置篮（8），三个所述晶片放置篮（8）分别与所述药剂清洗水池（5）、所述喷洗水池（6）及所述清水水池（7）配合。
2.根据权利要求1所述的全封闭石英晶片清洗机，其特征在于：所述药剂清洗水池（5）及所述清水水池（7）均为溢流池。
3.根据权利要求1所述的全封闭石英晶片清洗机，其特征在于：所述喷洗水池（6）包括水槽及若干个喷头（9），若干个所述喷头（9）均匀设置在所述水槽的两侧。
4.根据权利要求2所述的全封闭石英晶片清洗机，其特征在于：所述废水回收模块（3）包括药剂回收池（10）、喷洗回收池（11）及清水回收池（12），所述药剂回收池（10）与第一抽水泵的一端相连通，所述第一抽水泵的另一端与所述药剂清洗水池（5）相连通，所述药剂回收池（10）与所述药剂清洗水池（5）还通过第一出水管相连通，所述喷洗回收池（11）通过所述漏水板（2）与所述喷洗水池（6）相配合，所述清水回收池（12）与第二抽水泵的一端相连通，所述第二抽水泵的另一端与所述清水水池（7）相连通，所述清水回收池（12）与所述清水水池（7）还通过第二出水管相连通。
5.根据权利要求1所述的全封闭石英晶片清洗机，其特征在于：所述清水水池（7）的外部设置有震动板，所述震动板中内嵌有超声波换能器。
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