[发明专利]全封闭石英晶片清洗机在审

专利信息
申请号: 201911265146.8 申请日: 2019-12-11
公开(公告)号: CN110882997A 公开(公告)日: 2020-03-17
发明(设计)人: 刘兴波 申请(专利权)人: 珠海东锦石英科技有限公司
主分类号: B08B3/08 分类号: B08B3/08;B08B3/02;B08B3/12;B08B3/10;B08B13/00
代理公司: 广州市红荔专利代理有限公司 44214 代理人: 王贤义
地址: 519000 广东省珠海*** 国省代码: 广东;44
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摘要:
搜索关键词: 封闭 石英 晶片 清洗
【权利要求书】:

1.一种全封闭石英晶片清洗机,其特征在于:其包括机箱(1),所述机箱(1)中设置有漏水板(2)、废水回收模块(3)及三个顶升机构(4),所述漏水板(2)上设置有药剂清洗水池(5)、喷洗水池(6)及清水水池(7),所述废水回收模块(3)位于所述漏水板(2)的下方,且与所述药剂清洗水池(5)、所述喷洗水池(6)及所述清水水池(7)配合,所述顶升机构(4)的下端配合设置有晶片放置篮(8),三个所述晶片放置篮(8)分别与所述药剂清洗水池(5)、所述喷洗水池(6)及所述清水水池(7)配合。

2.根据权利要求1所述的全封闭石英晶片清洗机,其特征在于:所述药剂清洗水池(5)及所述清水水池(7)均为溢流池。

3.根据权利要求1所述的全封闭石英晶片清洗机,其特征在于:所述喷洗水池(6)包括水槽及若干个喷头(9),若干个所述喷头(9)均匀设置在所述水槽的两侧。

4.根据权利要求2所述的全封闭石英晶片清洗机,其特征在于:所述废水回收模块(3)包括药剂回收池(10)、喷洗回收池(11)及清水回收池(12),所述药剂回收池(10)与第一抽水泵的一端相连通,所述第一抽水泵的另一端与所述药剂清洗水池(5)相连通,所述药剂回收池(10)与所述药剂清洗水池(5)还通过第一出水管相连通,所述喷洗回收池(11)通过所述漏水板(2)与所述喷洗水池(6)相配合,所述清水回收池(12)与第二抽水泵的一端相连通,所述第二抽水泵的另一端与所述清水水池(7)相连通,所述清水回收池(12)与所述清水水池(7)还通过第二出水管相连通。

5.根据权利要求1所述的全封闭石英晶片清洗机,其特征在于:所述清水水池(7)的外部设置有震动板,所述震动板中内嵌有超声波换能器。

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