[发明专利]一种具有自锁功能的升降装置有效

专利信息
申请号: 201911266477.3 申请日: 2019-12-11
公开(公告)号: CN112935741B 公开(公告)日: 2023-03-24
发明(设计)人: 黄允文;傅时梁 申请(专利权)人: 中微半导体设备(上海)股份有限公司
主分类号: B23P19/00 分类号: B23P19/00;F15B11/08;F15B13/04;F15B15/26
代理公司: 上海元好知识产权代理有限公司 31323 代理人: 徐雯琼;张静洁
地址: 201201 上海市浦东新*** 国省代码: 上海;31
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摘要:
搜索关键词: 一种 具有 功能 升降 装置
【权利要求书】:

1.一种具有自锁功能的升降装置,其特征在于,包括:

承载平台,用于承载待升降件;

升降气缸,包括缸体和活塞杆,活塞杆的一端与所述承载平台固定连接;

自锁组件,包括滑动杆、自锁弹性件、锁定件和连接件,所述锁定件包括安装部和卡接部,所述安装部与所述滑动杆固定连接,所述自锁弹性件的一端与所述安装部连接;所述连接件与所述承载平台固定连接,且所述连接件上设有与所述卡接部相匹配的卡接槽;

固定安装架,所述滑动杆与所述固定安装架相对滑动设置,所述自锁弹性件的另一端与所述固定安装架连接;

控制阀,其内具有气体通道;

气流控制件,凸出于所述控制阀时,使所述气体通道与升降气缸连通,推动活塞杆使承载平台上升,旋入所述控制阀时,使所述气体通道与升降气缸不连通;

同步装置,其两侧分别与所述气流控制件和滑动杆接触,且所述同步装置能够在第一工作位置和第二工作位置之间进行切换,所述同步装置在第一工作位置时沿平行于承载平台表面的尺寸为第一尺寸,所述同步装置在第二工作位置时沿平行于承载平台表面的尺寸为第二尺寸,所述第二尺寸大于第一尺寸。

2.根据权利要求1所述的具有自锁功能的升降装置,其特征在于,所述卡接部的下表面具有一倾斜面。

3.根据权利要求1所述的具有自锁功能的升降装置,其特征在于,还包括:

第一管路,所述第一管路的一端与所述缸体的第一通气口相连通,所述第一通气口的位置低于所述活塞杆的活塞头行程的最低点;

所述控制阀的气体通道的输气口与所述第一管路的另一端相连通。

4.根据权利要求3所述的具有自锁功能的升降装置,其特征在于,所述控制阀和所述升降气缸均固定安装于所述固定安装架。

5.根据权利要求3所述的具有自锁功能的升降装置,其特征在于,还包括:

第二管路,所述第二管路的一端与所述缸体的第二通气口相连通,所述第二通气口的位置高于所述活塞杆的活塞头行程的最高点。

6.根据权利要求1所述的具有自锁功能的升降装置,其特征在于,所述同步装置在第一工作位置时,所述气流控制件突出于所述控制阀;所述同步装置在第二工作位置时,所述气流控制件旋入所述控制阀。

7.根据权利要求1所述的具有自锁功能的升降装置,其特征在于,所述同步装置为凸轮。

8.根据权利要求1所述的具有自锁功能的升降装置,其特征在于,所述同步装置为同步齿轮和两个同步齿条,两个所述同步齿条分别与所述同步齿轮上下两侧啮合,且两个所述同步齿条的一端分别与所述气流控制件的一端以及所述滑动杆的一端对应设置。

9.根据权利要求1所述的具有自锁功能的升降装置,其特征在于,所述同步装置为充气后膨胀的弹性气囊。

10.根据权利要求1所述的具有自锁功能的升降装置,其特征在于,所述同步装置包括楔形推块和两根楔形推杆,所述楔形推块两侧均具有楔形面,两根所述楔形推杆的一端与所述楔形面相匹配,另一端分别与所述气流控制件的一端以及所述滑动杆的一端对应设置。

11.根据权利要求5所述的具有自锁功能的升降装置,其特征在于,所述第一管路和/或所述第二管路上设有节流阀。

12.根据权利要求5所述的具有自锁功能的升降装置,其特征在于,所述第二管路的另一端设有排气阀。

13.根据权利要求5所述的具有自锁功能的升降装置,其特征在于,所述控制阀还设有排气口,当所述气流控制件位于所述第二工作位置时,所述控制阀的输气口和所述控制阀的排气口相连通。

14.根据权利要求5所述的具有自锁功能的升降装置,其特征在于,当所述气流控制件位于所述第一工作位置时,所述控制阀的输气口和所述控制阀的排气口不连通。

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