[发明专利]喷镀用材料和带喷镀膜的构件

权利要求书

1.一种带喷镀膜的基材，其具备：基材和所述基材表面的至少一部分所具备的喷镀膜，

所述喷镀膜包含稀土元素、氧和卤素元素作为构成元素，并且包含稀土元素卤氧化物与稀土元素卤化物的混晶，

所述稀土元素卤氧化物占所述喷镀膜整体的50质量％以上。

2.根据权利要求1所述的带喷镀膜的基材，其中，

包含钇作为所述稀土元素，

包含氟作为所述卤素元素，

包含氟氧化钇与氟化钇的混晶作为所述混晶。

3.一种带喷镀膜的基材，其具备：基材和所述基材表面的至少一部分所具备的喷镀膜，

所述喷镀膜包含钇、氧和氟作为构成元素，并且包含Y₅O₄F₇与Y₂O₃的混晶。

4.根据权利要求1或2所述的带喷镀膜的基材，其中，所述喷镀膜以所述稀土元素卤氧化物作为主要成分。

5.根据权利要求1或2所述的带喷镀膜的基材，其中，所述喷镀膜实质上不含所述稀土元素氧化物。