[发明专利]体声波谐振器及弹性波滤波器装置

权利要求书

1.一种体声波谐振器，包括：

基板；

第一电极，设置在所述基板的上部上；

压电层，被设置为至少部分地覆盖所述第一电极，并且包括平坦部和延伸部，所述平坦部设置在所述体声波谐振器的中央区域中，所述延伸部设置在所述平坦部的外侧并具有至少一个台阶部；

插入层，设置在所述延伸部上；以及

第二电极，设置在所述插入层的上部和所述压电层的上部上，

其中，所述延伸部包括至少一个第一表面、至少一个第二表面和连接表面，所述至少一个第一表面和所述至少一个第二表面设置在所述平坦部的上表面之下，所述连接表面将所述平坦部的上表面连接到所述至少一个第一表面或所述至少一个第二表面或者使所述至少一个第一表面之中的第一表面彼此连接或使所述至少一个第二表面之中的第二表面彼此连接。

2.根据权利要求1所述的体声波谐振器，其中，所述插入层的设置在所述第二电极的端部处的部分的宽度等于或小于1μm。

3.根据权利要求1所述的体声波谐振器，其中，所述插入层的设置在所述第二电极的端部处的部分的厚度等于或小于所述压电层的厚度的一半。

4.根据权利要求1所述的体声波谐振器，其中，所述至少一个第一表面包括：一个第一表面，相对于所述平坦部的上表面具有台阶部；以及另一第一表面，设置在所述一个第一表面之下，并且相对于所述一个第一表面具有台阶部，并且

其中，所述一个第一表面与所述另一第一表面之间的在所述体声波谐振器的厚度方向上的间隔距离等于或小于通过从所述压电层的厚度减去所述插入层的设置在所述第二电极的端部处的部分的厚度而获得的厚度。

5.根据权利要求4所述的体声波谐振器，其中，所述插入层的设置在所述第二电极的端部处的部分形成为延伸到所述另一第一表面。

6.根据权利要求4所述的体声波谐振器，其中，所述连接表面包括：第一连接表面，将所述平坦部的上表面连接到所述一个第一表面；以及第二连接表面，将所述一个第一表面连接到所述另一第一表面，并且

其中，所述插入层的设置在所述第二电极的端部处的部分形成为延伸到所述第二连接表面。

7.根据权利要求6所述的体声波谐振器，其中，所述插入层的设置在所述第二电极的端部处的端部设置在所述另一第一表面上。

8.根据权利要求4所述的体声波谐振器，其中，所述插入层的设置在所述第二电极的端部处的端部设置在所述一个第一表面的端部处。

9.根据权利要求4所述的体声波谐振器，其中，所述插入层的设置在所述第二电极的端部处的端部设置在所述一个第一表面上。

10.根据权利要求1所述的体声波谐振器，所述体声波谐振器还包括保护层，所述保护层至少设置在所述压电层的所述平坦部上。

11.根据权利要求10所述的体声波谐振器，其中，所述保护层的一侧的端部被设置为覆盖所述第二电极的端部和所述插入层的端部。

12.根据权利要求10所述的体声波谐振器，其中，所述保护层的一侧的端部与所述第二电极的端部和所述插入层的端部对齐。

13.根据权利要求10所述的体声波谐振器，其中，所述保护层的一侧的端部设置在所述第二电极上。

14.根据权利要求1所述的体声波谐振器，其中，所述插入层的设置在所述第二电极的端部处的部分被设置为与所述压电层间隔开。

15.根据权利要求14所述的体声波谐振器，其中，所述插入层的设置在所述第二电极的端部处的部分的宽度等于或小于1μm。