[发明专利]一种研磨盘平行度调节装置及方法有效
申请号: | 201911273746.9 | 申请日: | 2019-12-12 |
公开(公告)号: | CN110877285B | 公开(公告)日: | 2021-09-03 |
发明(设计)人: | 冯红旭 | 申请(专利权)人: | 西安奕斯伟硅片技术有限公司 |
主分类号: | B24B37/04 | 分类号: | B24B37/04;B24B37/34;B24B47/22 |
代理公司: | 北京银龙知识产权代理有限公司 11243 | 代理人: | 许静;胡影 |
地址: | 710065 陕西省西安市*** | 国省代码: | 陕西;61 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 研磨 平行 调节 装置 方法 | ||
1.一种研磨盘平行度调节方法,其特征在于,应用于研磨盘平行度调节装置,所述研磨盘包括正对设置的上研磨盘和下研磨盘,所述装置包括:竖向设置于所述上研磨盘和所述下研磨盘之间的至少三根压力杠杆,所述至少三根压力杠杆的一端抵设于所述上研磨盘的盘面,另一端抵设于所述下研磨盘的盘面,且所述至少三根压力杠杆在所述下研磨盘的盘面上的抵设点不共线;设置于所述压力杠杆上的压力检测单元,用于检测所述压力杠杆所承受的压力;设置于所述压力杠杆上的压力调节单元,用于调节所述压力杠杆所承受的压力;所述方法包括:
在研磨盘的上研磨盘和下研磨盘之间竖向设置至少三根压力杠杆,且所述至少三根压力杠杆在所述下研磨盘的盘面上的抵设点不共线;
控制所述上研磨盘向所述下研磨盘运动,使所述至少三根压力杠杆的一端抵设于所述上研磨盘的盘面,另一端抵设于所述下研磨盘的盘面;
根据所述压力杠杆上的压力检测单元测得的压力值,调节所述压力杠杆上的压力调节单元至所述压力杠杆所承受的压力完全相同;
紧固用于固定所述上研磨盘的螺栓,使所述上研磨盘的位置固定。
2.根据权利要求1所述的研磨盘平行度调节方法,其特征在于,在调节所述压力杠杆上的压力调节单元至所述压力杠杆所承受的压力完全相同之后,还包括:
若在第一预设时间内所述压力杠杆的压力未保持相同,重新调节所述压力调节单元,直至在所述第一预设时间内所述压力杠杆的压力均保持相同。
3.根据权利要求1所述的研磨盘平行度调节方法,其特征在于,在紧固用于固定所述上研磨盘的螺栓后,还包括:
静置所述研磨盘,若所述压力杠杆的压力在第二预设时间内均保持相同,撤去所述压力杠杆;若所述压力杠杆的压力在第二预设时间内未保持相同,松开所述螺栓,重新调节所述压力调节单元至所述压力杠杆所承受的压力完全相同。
4.根据权利要求1所述的研磨盘平行度调节方法,其特征在于,所述压力检测单元包括压力传感器以及与所述压力传感器电连接的压力表。
5.根据权利要求1所述的研磨盘平行度调节方法,其特征在于,所述压力调节单元为调节阀。
6.根据权利要求1所述的研磨盘平行度调节方法,其特征在于,所述压力杠杆为液压杆。
7.根据权利要求1所述的研磨盘平行度调节方法,其特征在于,所述压力杠杆的数量为四根,四根所述压力杠杆在所述下研磨盘的盘面上的抵设点共圆。
8.根据权利要求7所述的研磨盘平行度调节方法,其特征在于,四根所述压力杠杆在所述下研磨盘的盘面上的抵设点构成正方形。
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