[发明专利]一种透射电镜样品厚度的测量方法

权利要求书

1.一种透射电镜样品厚度的测量方法，其特征在于，包括如下步骤：

步骤一、建立孪晶面的第一模型，所述第一模型是由不倾转样品情况下根据直角三角形定律获得的；

步骤二、建立孪晶面的第二模型，所述第二模型是由将透射电镜样品沿着平行于孪晶面的晶带轴倾转角度的情况下根据投影几何关系获得的；

步骤三、通过将所述第一模型和所述第二模型组合获得孪晶面的第三模型，所述第三模型为检测区域的样品厚度模型；

步骤四、将透射电镜样品放入电镜后，不倾转样品，采集所检测区域的明场图像和暗场图像，通过明场像和暗场像相结合的方式测量出孪晶面的投影宽度；

步骤五、将透射电镜样品沿着平行于孪晶面的晶带轴倾转角度，采集该工况下所检测区域的明场图像和暗场图像，通过明场像和暗场像相结合的方式测量出样品倾转后孪晶面的投影宽度；

步骤六、将所述步骤四中测量出的孪晶面的投影宽度和所述步骤五中测量出的孪晶面的投影宽度代入所述第三模型中，确定检测区域的样品厚度；

步骤一中，所述第一模型满足如下公式：

h＝Wsinθ；

W_P1＝Wcosθ；

式中，h为检测区域的样品厚度，nm；W为孪晶面的实际宽度，nm；θ为孪晶面与样品表面的夹角，°；W_p1为样品没有倾转时孪晶面的投影宽度，nm。

2.根据权利要求1所述的透射电镜样品厚度的测量方法，其特征在于，所述孪晶面的投影宽度W_p1与所述孪晶面的实际宽度W和所述检测区域的样品厚度h组成一个直角三角形。

3.根据权利要求1所述的透射电镜样品厚度的测量方法，其特征在于，步骤二中，所述第二模型满足如下公式：

W_P2＝Wcos(θ+α₀)；

式中，α₀为将透射电镜样品沿着平行于孪晶面的晶带轴倾转的角度，°；W_p2为样品倾转后的孪晶面的投影宽度，nm。

4.根据权利要求1所述的透射电镜样品厚度的测量方法，其特征在于，步骤三中，所述第三模型满足如下公式：